無塵室（shì）空調（diào）箱選用（yòng）注意事項

無塵室有五個特性：
（1）耐久性
無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾係統的耐久材（cái）料。而耐久性，同時也依（yī）賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁，基於它（tā）的耐久（jiǔ）性，然而（ér），它不是便宜（yí）的物質。
（2）清洗
在製藥和生物工學工（gōng）業，無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細菌的汙染之特性。在biotech市場，清洗真正地是一個zui重要的企業（yè）。
（3）成本
微電子C/R建設費（fèi）可能花費到$10億。fab能更（gèng）快（kuài）的被建造起來，產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是（shì）較便宜和較好的（de）。然而“錢（qián）”將成為一個很重要（yào）的考慮因素。
（4）適應（yīng）性
一些廠商認為適應性可節（jiē）省（shěng）一筆（bǐ）金錢，而適應性意指係統可任意（yì）移動（dòng）或改變而不會招大的損失。C/R的擁有者和（hé）設計者的能力為改變一C/R的關鍵，所以他們從不將zui初的設計定型。
（5）維護性
對無塵室（shì）C/R而言，較嚴格要求（qiú）的部（bù）分（fèn）為地板（bǎn）、天花板，以及牆壁的部分。至於維修的問題，對材（cái）料的選（xuǎn）擇是否容（róng）易清潔性及維修性都應有其（qí）優先級。在應用力麵、天花板、地板及牆壁三者之中zui重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等（děng）濾網（wǎng），其可過濾掉房間（jiān）的微粒子，且其常會（huì）因各個不（bú）同的需要，便其分開來，供應各個不同區域的小房（fáng）間（jiān），曾有人（rén）說：若建造之預算因某種原因被限製，除了少（shǎo）數的小錢外，其天花板將趨於更貴的地步，其實天花板是一個頗複雜的係（xì）統其必（bì）須嚴格地過濾粒子，故其設計必須。對C/R而言，其選擇地板的材料也是很重（chóng）要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙（yǐ）烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會（huì）引起塵埃，而太軟的地板（bǎn）會造（zào）成地板彎曲甚致（zhì）破裂（liè），但並不是所有C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有（yǒu）些地板是衝（chōng）孔式、格子式，而全麵層流都是衝孔（kǒng）式。乙烯基（jī）有一作用（yòng）即脫氧，但高濃度乙烯基（jī）與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵（chén）室的（de）牆若以鋁作為材料則將會非常（cháng）昂貴，但鋁（lǚ）卻可以保護牆麵不（bú）被空氣所氧（yǎng）化（huà），可是卻易受酸性氣（qì）體的侵蝕，而避免（miǎn）的（de）方法是使用電鍍，便（biàn）鋁表（biǎo）麵增（zēng）厚，不易氧化，再在鋁表麵上（shàng）再塗上一層亮光漆即可防止（zhǐ）金屬（shǔ）氧（yǎng）化。
對於（yú）半導體工（gōng）業而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、牆壁（bì）、地板的要求亦非常嚴格（gé）。地板是人員、台車及重量的（de）運輸。當我們看見地板磨損時，也就是使用期已（yǐ）太久，快破裂了，不僅會使得清靜度的降級（jí），也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加（jiā）。另外，C/Rzui怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網有很多種（zhǒng）。例如層流式C/R而花板的組（zǔ）成組件包含了HEPA/ULPA濾網組（zǔ）燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優點為，放（fàng）置（zhì）方（fāng）式並沒有嚴格的限製。C/R之牆壁還有一種是以薄鋼製成，但（dàn）必須在表層塗上一層保護層，否則亦會腐蝕（shí），它並（bìng）不（bú）容易電鍍，而在表層塗上的保護層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質量的不鏽鋼，就不必塗上保護層，而使用玻璃（lí）作的C/R會使得（dé）房間的光線大增，以及美觀，但必須塗（tú）上一抗紫外線的障礙物。
無塵室用空調箱選用時應注意的事項
對每個工（gōng）程師或設計師而言，選用清淨室的空調係統（tǒng）大（dà）概是zui複雜的問題之（zhī）一，因為清淨室之（zhī）空調（diào）條件要比平常的空（kōng）調（diào）區間來的複雜（zá）且較嚴格，人都用於（yú）醫（yī）院、藥品製造、精密電子零件製造場等。
（一）就*法（fǎ）令而言
各個國（guó）家*對清淨式的設計條件要求不同，應注意（yì）設計時*之時令。設計清淨室之AHU應府合FDA法規或 EPA排放空氣法（fǎ）則。IAQ已漸漸被重視，設計時應注意（yì）IAQ之法規。視使用場合（hé）而定，過濾方法又可分成機械過濾法與化（huà）學過濾法。初級過濾，中級過濾，過濾與（yǔ）無菌的（de）環境以（yǐ）機械過濾法即（jí）能達成。為達到排氣之環境要求化學洗滌（dí）器，焚（fén）化爐或更多的機械及化學（xué）過濾設備必需被應用。活性碳或高錳酸鹽能有效達到化學過濾的要求。
（二）就成（chéng）本而言
在一些外表特（tè）殊的建（jiàn）築物中，那些增加的設計和設備使用的費用在長期的利（lì）益中須作正（zhèng）確的判斷。在一些特別的應用上，通（tōng）常都習慣設計兩至三次的過濾以達到所要求的狀態（tài）。傳統的清淨室（shì）若遇上（shàng）要求較為嚴格（gé）的部份時，設（shè）計必須有許多額外加價的部份。清淨室應盡量避免停機的現象，在建造的成本裏必須注意耐久性（xìng）及可*度。在風門調（diào）整上，設計者設計時（shí），對溫度及濕度的要求不同，就像是在設計人們的居（jū）住環境一般。在居住（zhù）環境中，停機期（qī）和溫濕度上的要求較（jiào）放置設備上來得高。所以質量上（shàng）及所提供的服務成（chéng）果是不能忽視的。在特殊的清淨室傳送或接收的設備，在錯誤修改應用上費用是比較昂貴的，且若不（bú）能與設計圖上一樣，可能會無法執行。在設計特殊的清淨室時，建（jiàn）築的成本中包括運轉成本，而（ér）運（yùn）轉（zhuǎn）成（chéng）本（běn）又包括須能持續（xù）運轉的馬（mǎ）達成本及修（xiū）護成本。成（chéng）本的歸納有裝置費，持續運轉費，維修費。計算運轉（zhuǎn）成本必須考慮到能量的消耗及效率（lǜ）的高低。就率或（huò）新機台啟動前，會先引進（jìn）外氣，這樣對旋轉的原動力、交流板（bǎn）、排氣的（de）管路和空（kōng）氣回流混合係（xì）統中，長期使用（yòng）可保持（chí）較高的效率（lǜ）。在操作上和持續運轉費用上必須考慮是否提高整個的設備費用。
（三（sān））就工（gōng）作參數設定而言
*的溫度、濕度噪音、振動及（jí）運作的環境（jìng）要求下，大部份將影響到（dào）設備的選用。就（jiù）某些實例而言，溫濕度的設（shè）定點在可接受的範圍內必（bì）須要維持在（zài）一個長時期或較完整的環境及過程。清淨室的加熱力法可（kě）用熱水、水蒸氣瓦斯和電能，可用冰水，乙醇或冷媒冷卻。使用水（shuǐ）蒸氣、注射器、噴霧器及滲透的方法可以加（jiā）濕。當評估加濕的來源時（shí），特別要注意的是加濕（shī）過程和（hé）加濕（shī）的方法是否保證清潔。典型的清（qīng）淨（jìng）室通風管理裝置使用一個有吸收力或吸附力的（de）物質去除大氣中（zhōng）的濕氣或使用低溫乙醇螺管係統去濕。溫濕度設定（dìng）後，就必須考慮（lǜ）空氣流量參數是（shì）否滿足所需。典型的（de）清淨室必須維持在大氣常壓下。因此房內（nèi）之壓力及體積之值必（bì）須適當（dāng）予以控製。風扇的噪（zào）音與（yǔ）震動必須被考慮上（shàng）去。適當（dāng）的（de）裝配（pèi）器（qì）材及馬達轉速可避免不必要的噪（zào）音和振動。風扇結構可使用皮帶驅動或直接驅動。風速控製及可變頻率控製（zhì）可以依（yī）體積需要來決（jué）定噪音及振動的限度。zui普通（tōng）的減振方法為裝置彈簧（huáng）基座、固定（dìng）基座及將空調箱遠離。常用的聲音衰（shuāi）減器有可動式地板、緩衝機和風扇（shàn）彎曲（qǔ）度及伸縮度控製。聲音衰減器隔離風扇和設計成薄（báo）的特性，可降低幾度音階（jiē）結（jié）合。除了（le）粒子的控（kòng）製之外，特別要考慮的有（a）帶細菌的操作過程（b）腐蝕物或有毒的化學物品（c）揮發性或易爆發（fā）的藥劑（d）還有室（shì）內及排（pái）氣的空氣質量（e）安全（f）設備壽命和保養能力等。
（四）就建築考慮方麵
空間的使用率會影（yǐng）響AHU的實際大小。保養門（mén）和通路儀表板的位置必須謹慎地決定，特別是位於小空間（jiān）的設備。應防止表麵凝結，除了涉及濕（shī）氣作用和凝結在設備的外部（bù）之外，濕氣對於空氣傳遞設備內部（bù）構成要素也有不利的影響，混（hún）氣（qì）對（duì）內部構（gòu）成也有不利影響，將使壽命縮（suō）短，成本提高。濕氣作用將會散布弊病和汙染物（wù），便得效（xiào）率低的令人害怕（pà）。減低建築（zhù）物的腐蝕物質和（hé）鋁、不鏽鋼或塗上一層合金，可以使用上列（liè）物質使清（qīng）淨室壽命增加。設計設備空間（jiān）時，應保留適當（dāng）的通路，以備打掃（sǎo）或（huò）維修（xiū）用。對（duì）於銅製的、不鏽鋼（gāng）製（zhì）和鋁製的（de）盤管，應注意那種場合適用那些盤管。