潔淨室的靜電控製方案

潔淨室（shì）是工業生產中的重要組成部分，半導體、平麵液晶顯示器、光電子和（hé）生物醫藥都需要（yào）潔淨的生產車間（jiān），通（tōng）常潔淨室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控製在規定界限內的（de）房間或限定空間，這塵埃粒子的（de）粒徑越小和（hé）被限定的粒數越小，潔淨度便越（yuè）高。靜電對於潔（jié）淨室來說無（wú）疑是一大危害，主要表現於靜電放電、噪聲、電擊人體等危害，如何控（kòng）製潔淨室的靜電，幾點靜（jìng）電控製辦法參考如下：
1、靜電（diàn）控製的基（jī）本原則
（1）確定靜電控製級別。
（2）盡量減少靜電荷的產生。
（3）泄放和中和的辦法加速靜電荷消散，防止靜電積累。
（4）保護（hù）產品不受ESD的損壞。
2、確定靜電控製（zhì）的級別
（1）元器件、組件和設備靜電敏感度分級。
1級：易（yì）遭受0-1999V靜電電壓損壞的。
2級：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的。
3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的。而敏感靜（jìng）電壓大於16000V的，便（biàn）不必采取防靜電措施。
（2）靜電防護工作區的分級
A級：允許對地靜電電位不超過（guò）±100V。
B級：允（yǔn）許對地靜電（diàn）電位不超過±1000V。
實際工程中是分靜電電位（wèi）不超過100V、500V、1000V等對（duì）應元器件、組件和設備（bèi）靜電敏感電壓的（de）3級。
3、盡量減小靜（jìng）電荷的產生
這是控製靜（jìng）電三步曲的*步，在（zài）這淨化工作環境中，的措施：
（1）盡量（liàng）采用性質相似器材，減（jiǎn）少在接觸摩擦分離過程中產生靜電電荷。
（2）盡量采（cǎi）用導靜電型或靜電耗散型（xíng）材料（liào）的器材，減少接觸摩擦分離過程產生積累（lèi）靜電荷。
（3）盡量采（cǎi）用減少接（jiē）觸摩擦（cā）分離而產生靜電荷的生產流程。
4、泄放和中和
這是控製靜（jìng）電三步曲的第二步，在微電（diàn）子生產的淨化室中（zhōng）zui通常的措施是接地，采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電（diàn）器中和靜電荷。
（1）接地（dì）
潔（jié）淨室（shì）應設一個獨立（lì）靜電接地係統（包括地麵接地金屬網支係統、生產線工作站（zhàn）接地支係統），以便室內所有（yǒu）設備金（jīn）屬外殼、移動設（shè）備的金屬支架、防靜電器材（cái）等安全、有效地將（jiāng）靜電荷泄放（fàng）至大（dà）地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地，以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經防靜電地麵向大地泄放。地（dì）麵、牆（qiáng）麵、頂棚、隔斷等是硬接地（dì），設備外殼、移動（dòng）設備（車、椅、貨架等）、工（gōng）作台等則屬軟接地。
（2）離子化肖電器
潔淨室中生產組（zǔ）裝的元器件、PCB，生產線、工作站上總是難免存在一（yī）些不能（néng）接地的絕緣導體和絕緣介質（zhì）材料（例如大多數普通塑料）。在某些環境（jìng）下，離子（zǐ）化消電器常用（yòng）來局部（bù）消散這些物體上的靜（jìng）電荷（hé），而更經常的是借助於空氣離子化來（lái）中和在絕緣介質上和孤立導體上（shàng）的（de）所帶靜電電荷。
（3）導靜電和靜電（diàn）耗散材料
導（dǎo）靜電材料和靜（jìng）電耗散材料由於其具有導靜電（diàn）性，也是很好的靜電荷泄放材料，而且（qiě）比金屬導體泄放更具有安全性，通常被采用（yòng）做地板、牆麵、工作台、周轉容器、鑷子、刷子等防靜電器材（cái）。
5、防止ESD，保護產品
這是（shì）控製靜電的三步曲（qǔ）中zui後一步。在微電子生產的淨化室中，為阻止ESD發生在靜電敏感元器件或（huò）組（zǔ）件（jiàn）、PCB上，一種方法是對元器（qì）件和（hé）組件提供合（hé）適的接地或分（fèn）路（lù）以“消散”掉產品上存在的靜電荷；另一種方法是用恰當（dāng）的包裝方法和材料來處理（lǐ）靜電敏感器件的包裝和輸運。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產品以及減少（shǎo）產品在包裝箱中移動而產（chǎn）生靜電荷。上，半導體、平麵液晶顯（xiǎn）示器，光電子發展很快，集成度越來越高，芯片線徑越（yuè）來越（yuè）細，對防靜電要求越來越高。美（měi）國ESD協會（huì）已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控製大綱，對SSD靜電敏感性分類已作了些修改。