FFU的特點及性能參數

FFU（Fan Filter Unit）是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝（zhuāng）在潔淨（jìng）室的送（sòng）風末端（duān），一（yī）般（bān）放置在吊裝的幹（gàn）式（shì）墊片密封龍骨框架（jià）上。FFU上麵部分為風機模塊，下麵部分為過濾器（qì）。根據潔淨度的要求，過濾器可為不同等級的（HEPA）或超（ULPA）過濾器，為潔（jié）淨室提供潔淨空氣。風（fēng）機（jī）模塊除了要克服FFU下部過濾器的阻力，還要克（kè）服整個循環風所有（yǒu）通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU係（xì）統具有設計施工簡便，風速（sù）調節靈活，潔淨區易於變更等特點，因此已成為工（gōng）業潔淨室的流行（háng）係統形式之一。
FFU的特點：
1、靈活性（xìng）。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限（xiàn）製。在一個偌大的潔淨廠房裏可根據（jù）需要，分區控製。而且（qiě），隨著半導體（tǐ）生產工藝（yì）的變化，廠房布局必然要作相應的（de）調整，FFU的（de）靈（líng）活性使得這樣的調整變得輕鬆，而且不會帶來二次投資。
2、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，留待下次使用。
3、負壓通風。這是FFU的*特點。由於（yú）它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對於潔淨廠房負壓。這（zhè）樣，靜壓（yā）箱內的顆（kē）粒就不會受到（dào）壓力的作用泄漏到潔（jié）淨區（qū）內，使得密（mì）封（fēng）變得很簡單而且安全。
4、縮短建設周期。使用FFU省掉了風（fēng）箱的製作和安裝（zhuāng），因為風管在潔淨工程中，占掉（diào）很（hěn）大的建設周期，任何一個（gè）投資者都（dōu）希望投資（zī）能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
5、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但在它（tā）後期運行中，突出的表現出節（jiē）能、免維護等特（tè）點。用大循環減少40%的運行（háng）成本。
FFU組合（hé）的性能參數：
模數尺寸：安（ān）裝（zhuāng）吊頂龍骨中（zhōng）心線的間距，FFU常用的標準模數尺（chǐ）寸（cùn）為1200*600（4'*2'）、1200*900（4'*3'）、1200*1200（4'*4'）。
實際尺寸：FFU過濾器的實（shí）際尺寸（cùn）=模塊（kuài）尺寸-（龍骨斷麵寬度-25mm），風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的圓頂龍（lóng）骨端麵寬度為55mm，模數尺寸為1200，900，600所對應的FFU過濾器實際尺寸（cùn）1170，870，570，風機模塊（kuài）的實際尺（chǐ）寸為1174，874，574。
機外餘壓：在某一（yī）設定風速下，風（fēng）機模塊的總靜壓下（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機外餘壓（ESP），單位是Pa。ESP是指（zhǐ）FFU整（zhěng）機能克服潔淨室循環風阻力的能力，無論是標注FFU機外餘壓或風機模塊的總靜（jìng）壓TSP，都必須指明送風風速或風量，否則沒有意義。
輸入能耗：FFU正常運轉時輸入（rù）電壓或輸（shū）入電流的乘積，單位是W。顯然，FFU在不同（tóng）的運行工（gōng）況點，即在不同的運行風量和（hé）總靜（jìng）壓時，輸入能耗不同。因此，如果不指（zhǐ）名運行工況點，輸入能（néng）耗值沒有意（yì）義。
單位噪音：根據標準IES-RP-CC002，FFU正常運轉（zhuǎn）時在（zài）距離出風麵中心（xīn）正下方1.2m處的（de）噪音（yīn）值，單位是dB(A)。FFU在不同的運行（háng）工況點，即（jí）在不同的運行風量和總靜壓時，噪音不同（tóng）。因此，如（rú）果（guǒ）不指明運行工況點，噪音值沒有意義。
微（wēi）振：根據標準IES-RP-CC002，FFU在大運轉工（gōng）況（kuàng）點時的振動幅度和振動速率，單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度：根據標準IES-RP-CC002，FFU正常運轉（zhuǎn）時，在距離出風麵下方150mm(6'')的水平麵上測量逐點的風速，得出（chū）平均風速值（zhí）。平均風速與大風速和小風速的偏差比（bǐ）即為送風均勻度，單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中（zhōng）要求FFU的任一點的送（sòng）風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器（qì）效率等（děng）級：依據歐洲標準EN1822，過濾器等級從H10-H14，U15-U17，或依據美國（guó）標準MIL-282(HEPA)對於0.3um的效率值；依據美國標準IES-RP-CC007.1，對於0.12um的效率值。