潔淨室送風係（xì）統

（1）集中送風方式
這種送風方式（shì）一般是數台大型新風處理機組和淨化循環機組集中（zhōng）設置在（zài）空調機房內，空調機組可位於潔淨室的側麵或頂部。經過溫濕（shī）度處理和過濾後（hòu）的空氣（qì）由離心風機或軸流風機加壓後通過風道送入送風靜壓箱，再（zài）由空氣過濾器（qì）或超空氣過濾器過濾後（hòu）送入潔淨室。回風（fēng）經格柵地板係統，流入（rù）回風靜壓箱再回到淨化循環係統，如此反複循環運行。
（2）隧（suì）道潔淨（jìng）室送風方式
這種送風方式一般將潔淨室劃分為生產核心區和（hé）維護區（qū），生產核心區要求高潔淨度和嚴格的溫濕度控製，設在單向（xiàng）流（liú）送風區內；維護區要求較低，設置在（zài）生產輔助設備或無潔淨要求的生產設備的尾部或配管配線等。生產區為送風區，維（wéi）護區為回風區，構成空氣循環係統。一般隧道式送風是由多（duō）個空氣循環係統組成，所以其中一台循環機組（zǔ）出（chū）現故障不會影（yǐng）響其他區域生產環境的潔淨度，並且各個循環係統（tǒng）可（kě）根據生（shēng）產需要進行分區調控。
（3）風機過濾（lǜ）單元（yuán）送風（fēng）方式
在潔淨室的吊頂上安裝多台風機過（guò）濾單元(FFU)機組，構成循環係統，不需要配置淨化循環（huán）空（kōng）調機房，送風靜壓箱為負壓。空氣由FFU送到潔淨室，從回風靜壓箱經兩側夾道回至送風靜壓箱。根據潔淨室的溫度調節需要，一般在回風夾道（dào）設幹式表冷器。新風處理機可集中設在空調機房內（nèi），處理後的新風直接送入送風靜壓箱。因送風靜壓箱（xiāng）為負壓，有利於空氣（qì）過濾（lǜ）器頂棚的密封；但由於FFU機組台數較（jiào）多，在滿布率較高時，一般投資較大，運行費用也高。有些FFU噪聲較大，選用時需要注意。
（4）模塊式（shì）風機單元送風方式（shì）
這種送風方式是送風機安裝在空氣（qì）過濾器或超空氣過濾器（qì）之上，1台送風機可配置數台過濾器的空氣循環係（xì）統。這種（zhǒng）模塊式風機（jī）單元循環係統屬無管道方式，空氣輸送速度較低，送（sòng）風機和過濾器維修較方便，能量消耗（hào）較少。
（5）微（wēi）環境+開（kāi）放式（shì）潔淨室的送風（fēng）方式
這種（zhǒng）方式可以確保極為嚴格的半導體芯片生產環（huán）境或設（shè）備的微環境控製達到高潔淨度等級(如0.05~0. lμm, ISO 1級)，而其周（zhōu）圍的開放（fàng）式大麵積潔（jié）淨環（huán）境僅保持（chí）在相對較差的潔淨度（dù）等（děng）級(如ISO 5級或ISO 6級)，微環境內為潔淨度控製嚴格的單向流潔淨環境，而開放式潔淨室為單（dān）向流或混合流潔淨室。這種方式的能量消（xiāo）耗較少，工藝布置靈（líng）活性好，建設投資（zī）和（hé）運行費用都可以降低。