潔淨室的排風係統

1、潔淨室的（de）局部排（pái）風
1）潔淨廠（chǎng）房內的各種（zhǒng）生產過程中不可避免的有各類（lèi）粉塵、有（yǒu）害氣體、有害物質的產生（shēng）。防止它們（men）在潔淨室內擴散或造成汙（wū）染的有效方法是在產生處采（cǎi）取局部排風措施及時（shí）有效的將汙染物排至室外。為此，GB50073--2013《潔淨廠房設計規範》規定：潔淨室內產生粉塵和有（yǒu）害（hài）氣體的工藝設備，應設置局部排風裝（zhuāng）置。應根據各類工藝設備產生的粉塵、有害氣體和有害物質的性質、濃（nóng）度等因素選擇設置合理（lǐ）的局（jú）部排風裝置（zhì）。以下情況的局部排風係統應單獨設置：
a.排風介質混合後能產生或加劇腐蝕性（xìng）、毒性、燃燒爆炸危險性和發生（shēng）交叉汙染。
b.排風介質中含（hán）有有毒與無毒物質，且毒（dú）性相差非常大。
c.同時存在易燃、易爆與一般排風。
2）在（zài）設計潔淨室的排風係統時，應采取以下措施：
a.為防止在潔淨室空（kōng）調係統停止運行時，室外（wài）空氣倒灌入室內，引起汙染和積塵，應采取防倒灌措施。工程常用的防倒灌措施有：
①設置中效空氣過濾器，這種方式結構簡單，維護方便；
②采用止回閥，使用（yòng）方便，但密封性較差；
③采用密閉閥，密閉（bì）性好，但（dàn）結（jié）構複雜，管理不便；
④采用自控（kòng）裝置。
b.含有易燃、易爆局都排風係統（tǒng）時，應采用與排出物質相適應的防（fáng）火、防爆措施。
c.排風介質中有害物濃度及排放量超過國家或地區有害物排放（fàng）濃度及排（pái）放量規定時，應進行（háng）無害處理（lǐ），達標後才能排入大（dà）氣。
d.對（duì）含有水蒸氣和（hé）凝（níng）結性物質的排風係統，排風（fēng）口應有一定坡度，以（yǐ）便及時排出凝結（jié）液。
潔淨廠房內的換鞋、存外衣、洗（xǐ）浴、廁所和淋浴等產生輔助房間，應采取通風（fēng）措施，其室內的靜壓值，應低於潔淨區。
潔淨室應根據生產工藝要（yào）求（qiú）設置事故排（pái）風係統。事（shì）故排風係統應設自動和手動控製開（kāi）關，手動控製開關（guān）應分別設（shè）在潔淨室及潔淨室外便於（yú）操作的地點。一（yī）般對於有可能散發有害氣體或（huò）易燃（rán），氣體或易（yì）燃、易（yì）爆氣體的潔淨室(區（qū）)應設事故排風裝置。
2、排風裝置的分類及處理設備
在（zài）微電子（zǐ）生產（chǎn）用（yòng）潔（jié）淨室和藥（yào）品生產用（yòng）潔淨室中，常常會在產品生產（chǎn）過程中使用或產生某些特定的酸性或堿性物質、有機溶劑和氣體；在致敏性藥（yào）物、某些甾體藥物、高活性藥物和（hé）有毒性（xìng）藥物生產（chǎn）過程中還會有相應的有害物質排出（chū）或滲入（rù）潔淨室內。對於上述潔淨室，在可能排出各種有（yǒu）害物質、氣體或粉塵的生產工藝設備或工序處應設置局部排（pái）風（fēng）裝置或采取全室排風裝置（zhì）。按生產工藝（yì）過程排出（chū）的廢氣的種類，可將排風裝置（係統）大體劃分為以下種類型：
（1）一（yī）般排風係統
在生產輔助用室和生活用室（shì），如值班室、衛生間等（děng）排出的一般廢氣，大多數情況下不（bú）需要進行特殊處（chù）理即可直接排入大氣。
（2）有機氣體排風係統
在產品生產中使用某些有機物質（zhì）、溶劑作為原輔材科或清洗（xǐ）劑時，都將會在相關的場所或設備處散發有機物質、溶劑的氣體，對這類場所或設備均應（yīng）設置排風（fēng）裝置。在一般情況下，有機（jī）排風係統中的有機氣體（tǐ）濃（nóng）度是很低的，若（ruò）能達到國家規定的（de）大氣排放標準時，可（kě）直（zhí）接排入（rù）大氣，不（bú）需設置廢氣處理裝置；當排風係統中有機（jī）氣體濃（nóng）度（dù）超過（guò）規定時，應設有機氣體排放裝置，經過處理達標後才能排入大氣（qì）。有機氣體排（pái）氣的淨化處理方法（fǎ）有活性炭吸附法，吸收法和催化燃燒（shāo）法等。活性炭吸附法主要用於中小流量的不含粉塵、膠粘物質的苯類和汽油（yóu）類有機氣體排氣的處理；吸收法設備簡單，耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用於較高濃度的苯類、醇類、脂類和汽油等有機氣（qì）體排氣的處理。有機（jī）氣體排（pái）氣處理裝置應根據排（pái）風係統所（suǒ）含有機物質的品種、濃度等情況選用（yòng）。
（3）酸（suān）性氣體排風係統
濕法化學腐蝕、酸（suān）液清洗實驗室內均有（yǒu）酸性氣體排出，在這類酸性氣體（tǐ）的排風（fēng）係統通常設有（yǒu）濕式洗氣吸收塔，處理（lǐ）後排入大（dà）氣。實際設計時應根據酸性氣體的類型、濃度選用（yòng）合適的吸收液和吸氣（qì）塔的形式。
（4）堿（jiǎn）性氣體排風裝置
若（ruò）排風係統氣體中含有堿性物質或排氣中（zhōng）混有堿性（xìng）化學（xué）試劑時，與酸性氣體排風（fēng）係統類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處（chù）理後排入大（dà）氣。近年來，由於大氣排放標準越來越嚴格，含有堿（jiǎn）性物質（或酸性物質）濃度較低的排氣也應進行淨化處理才能達到排放標準。為此，可采用吸附劑對堿（jiǎn）性排氣（或酸性排氣）進行處理達標後再排入大氣。此種吸附劑一般為一次性的（de），使用（yòng）後應進行集中處（chù）理（lǐ），通常作（zuò）為固體廢棄物在城市垃圾場集中處理。
（5）熱氣體排風係統
生產（chǎn）過程中的各種爐子、高溫（wēn）滅菌設備等均有熱氣排出，由於排氣溫度較高，有時可采用熱回收等方式進行（háng）處理，若排（pái）氣量較小或不便進行處理時，可在采取必要的隔熱措（cuò）施後直接排入大氣。
（6）含粉塵的排（pái）風係統（tǒng）
產品品種不同，生產工（gōng）藝過程不同，排氣（qì）中的粉塵性質也不同。應根據排氣（qì）中的粉（fěn）塵性質、濃度選用不同類型（xíng）的（de）除塵裝置，一（yī）般采用布袋除塵器或帶過濾元件的過濾除塵裝置。對於某些含塵濃度很高的排（pái）風係統，根據工藝具（jù）體情況，有時需設置二級除塵裝置，先將大部分（fèn）粉塵去除後再送入布袋除塵或過濾除塵裝置，才能滿足大氣（qì）排放標準的要（yào）求，從而保證係統穩（wěn）定、經濟的運行。
（7）特殊氣體排放係統
在半導體集成電路生產中常常需要使（shǐ）用（yòng）一（yī）些特殊氣體，其中許多特殊氣體（tǐ）屬於易燃易爆、或有毒甚至劇毒、或有腐蝕性的氣體（tǐ），對（duì）於這類氣體的排放係統，首先應按特殊氣體的品種（zhǒng）、性（xìng）質進行劃分，以防止在排放係統中產生化學反應；其次選（xuǎn）用的廢氣處理裝置。特殊氣體排放（fàng）的處理方法通常有稀釋法、吸收法、催化燃燒法（fǎ）和吸附法等。排放係統的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特殊氣體性（xìng）質選擇相應（yīng）的材質，以防止與特殊氣（qì）體發生（shēng）反應。
（8）藥品生產中有害、有毒物質的排風係（xì）統
在生（shēng）產或分裝青黴素等強製敏性藥物及高活性、有毒性藥物的房間和二類危險度以上病原體操（cāo）作區的排風口，應（yīng）安裝（zhuāng）過濾器，將這些藥物引起（qǐ）的汙染（rǎn）危險降低至低限度。此類排風係統（tǒng）的排風（fēng）口與其他藥品生產（chǎn）用淨化空調係統的新風口應相隔一定距離。
3、排風係統（tǒng）用材料
潔（jié）淨室內排風係統的處理設備、風管及附件(如密閉閥、調節閥（fá）和（hé）止回閥等（děng）)的製作材料、保溫材料和塗料，應根據排出氣體的性質所（suǒ）處的空氣環境等確定。GB 50073-2013《潔淨廠房設計規範》中明確規定，潔淨室的排風管、附件以及輔助材料的選擇應（yīng）符合（hé）以下（xià）要求（qiú）：
1）排風係統的風管應采用不燃材料。這裏所（suǒ）說的不（bú）燃材料是各種類型的（de）金屬板材，包（bāo）括碳鋼、不（bú）鏽鋼和有色（sè）金屬板材，具體（tǐ）選用應按排氣的性質。
2）排除腐蝕性氣體的風管，應采用耐腐蝕的難燒材料或難燃材料。這裏所說的難燒材料主（zhǔ）要是氧指數≥32的玻璃鋼等。
3）附件、保溫材料、消聲材料和塗料等均（jun1）采用不燃材料或難燃（rán）材料。這裏（lǐ）所指的不燃材料主要是岩（yán）棉（mián）、玻璃棉等；難燃材料主要是氧指數≥32的橡塑海綿、聚氨酯等。