潔（jié）淨室的基本參數及特殊參（cān）數（shù）

一、基本參數
1、潔淨度
潔淨度是（shì）潔淨室的重要基本的技術指標。其單（dān）位是：單位體積的空氣中粒徑不小於某一尺（chǐ）度的微粒（lì）個數。尤其是微電子行業對於潔淨（jìng）室的要求較高。
2、微生物濃度
微（wēi）生物濃度是潔淨室的另一項重（chóng）要技術指（zhǐ）標。其單位是（shì）：單位體積的空氣中微生物個數。生物工程行業對於微生物濃度的要求較高，其次是醫療、製藥、食品、飲（yǐn）料、化妝品等行業。空氣中的（de）微生物是空氣微粒的一部分，確（què）切（qiē）的說是危害較大的一部分。通常測定的是（shì）空氣中細菌的濃度。
3、溫度（dù）
溫度（dù）是基本的工（gōng）作條件，幾乎所有的潔淨室（shì）對於溫度都有明確的要求（qiú）。溫度會影響植體的（de）尺度，從而影響加（jiā）工的度，從而影響加工的度（dù），所以精密加（jiā）工對於溫度有相當（dāng）嚴（yán）格的（de）要求。溫度會影（yǐng）響儀器的參數（shù），從而產生測定誤（wù）差，所以精密測量儀器（qì）對於溫（wēn）度（dù）的要求也較高。
4、濕度
濕度也（yě）是基（jī）本的工作條（tiáo）件，幾（jǐ）乎所有的潔淨室對（duì）於濕度都有（yǒu）明確的要求（qiú）。濕度過大（dà）會使（shǐ）許多物質發生化學反應，從（cóng）而影（yǐng）響產品質量，甚至使（shǐ）設備失效，產品報廢。濕度過低又會使許多物質脫水變形，失去原有的（de）功（gōng）能。
5、風（fēng）速與風量
足夠的（de）風速與風量是潔（jié）淨度的保證，過大的風速與風量不僅浪費能量，而且有時會影響正（zhèng）常的工作。
6、氣壓與壓（yā）差
正常（cháng）的氣壓是正（zhèng）常工作的基本條件。必要的壓差是控製漏（lòu）氣方向的手段。微電子行業的潔（jié）淨（jìng）室為了保證潔（jié）淨度，不允許（xǔ）低潔淨度的空氣向高潔（jié）淨度區域泄露。病（bìng）毒實驗室或（huò）傳染病房不允許室內（nèi）空氣向室外泄露。
7、噪聲
過大的（de）噪聲不僅會影響正常的工作，而且會影響人員的身體（tǐ）健（jiàn）康，降低噪聲（shēng）是潔淨（jìng）度的一項基本（běn）要求。
8、照度
適當的照度是正（zhèng）常工作的必要條件。
二、特殊參數
1、振動
振（zhèn）動會影響儀器設（shè）備（bèi）的穩定性，從而影響儀器的準確度，還會影響（xiǎng）設備的加工度，所（suǒ）以有些潔淨室需要控製振（zhèn）動。
2、靜電
靜電有許多危害，特別容易（yì）損壞微電子元件，所以微電（diàn）子行業采取相應的防護措施，預防靜電的產生或者使（shǐ）產生的靜電能夠及時泄漏，以減少靜電對（duì）電子行業所造（zào）成的損失。
3、有（yǒu）害氣體濃度
有害氣體的種（zhǒng）類繁多，有的會損害人（rén）體健康，有的會影響產品質量和產品合格率，所以潔（jié）淨度需（xū）要控製有害氣體濃度（dù）。
4、輻射強度
X射線、Y射線、電磁波等輻射對（duì）人體（tǐ）有較大的的損害，有（yǒu）時對生產設備或產品也有損害。