潔（jié）淨室的性能監測

為了在潔淨室運行過程中及時（shí）了解與判定潔淨（jìng）室所處狀態是否符合設計要求和滿足（zú）生產的需要，潔淨室應定期對其主要技（jì）術性能指標進（jìn）行周期性監測，某些高級（jí）別潔淨室對一些關鍵性指標甚至設置了連續巡查的裝（zhuāng）置，以便及時判（pàn）定（dìng）潔淨室的受控狀態。
1、（表1：）標準ISO 14644-2的規定

備注：這些測試可按照規定（dìng）的ISO等級在動態或靜態條件下進行；
a.氣流量可用風速或風（fēng）量（liàng）測量方法測得。
b.本項測試不適用於非全封閉的潔淨區。
除上表規定（dìng）的標準測（cè）試外，ISO 14644-2還給出了任選項目的測試，下表所列的任選項目測試也可包括在測試項（xiàng）目中。
（表2：）任選項目測試的時間間隔：
 
ISO 14644-2對潔淨室監測還作出（chū）了如下一些補（bǔ）充規定：
（1）除表1所列的標準監測（cè）項目外，用戶與承包商可（kě）共同商（shāng）定增添其他的測試項（xiàng）目。
（2）如果潔淨室裝置（zhì）了懸浮粒子濃度和壓差（chà）的監測儀表，並連續或頻繁（fán）的進行監測，且監測結果始終處於規定的限製以（yǐ）內（nèi），則可延長表1所列的時間間隔。
（3）如果監測數據出現超過規定限製的情況，標明潔淨室不符合要求，要及時采取（qǔ）適當的補救措施，補救措施完成（chéng）後應對潔（jié）淨室進行再認定，若符合要求，就可以恢複例行監測。
（4）懸（xuán）浮粒子濃度及（jí）其它參數的例行監測（cè）一般是在動態下進行。
（5）懸浮粒子的監測計劃是根（gēn）據潔淨室的（de）風險分（fèn）析與評（píng）估製定的（de）。該計劃中（zhōng）應該包括的內容有：預先設定的采樣裝（zhuāng）置，每個空（kōng）氣樣（yàng）本的小采（cǎi）樣量、采樣的時間長短、采樣的（de）時間間（jiān）隔、測量的粒（lì）徑、計數的（de）許可限製。如果需要還可包括報警值、行（háng）動限製（zhì）、漂移值。
2、國家標準GB 50073-2001關於監測的（de）規定
GB 50073-2001對潔淨室的監（jiān）測（cè）作（zuò）了如下（xià）規定，確認潔淨室或潔淨區符合（hé）規範要求（qiú）應進行三項測試：
（1）空氣潔淨度測定（生物潔淨室應進行浮遊菌、沉降菌測定）；
（2）靜（jìng）壓差測試；
（3）風速或風量測試。
三項測試（shì）的長時（shí）間間（jiān）隔（gé）分別列於下表3和表4中。
（表3：）空氣潔淨度等（děng）級認證的測試要（yào）求

（表（biǎo）4：）靜壓差和風速（風量）認證的測試要求

備注（zhù）：如果潔淨室或潔淨區已對粒（lì）子濃（nóng）度、風速、靜壓差執行連續監測，並且其測試值均（jun1）符合本規範要求（qiú），則認（rèn）證的測試時間（jiān）間隔可延長。具體間隔時間，可與認證單位洽商。
a.空氣潔淨度等級認證，可在（zài）靜態（tài）或動態檢測，洽商確定。
b.風量測（cè）定，用風速計在（zài）風口（kǒu）或風管測定。
c.該項測試不適用於潔淨區。