潔淨度的檢（jiǎn）測與計算

1、潔淨度的等級
關於潔（jié）淨室（shì）潔淨度的分級，我國以前主要沿用（yòng）美國聯邦標準FS-209的分級方法，即每立方英（yīng）尺（chǐ）空氣中不（bú）小於0.5um的微粒個數不大於某一（yī）個數值。
標（biāo）準ISO 14644-1規定潔淨度等級的微粒大允許濃度按下式計算：

2、潔淨度檢測的采樣點數（shù）
（1）國家（jiā）標準《潔淨廠房設計規範》和標準（zhǔn）ISO 14644-1《空氣潔淨度分（fèn）級》中規定：潔淨度檢（jiǎn）測的少采樣點數（shù）按下式計算：

式中，N_m為少采樣點數
    A為潔淨室或潔淨區的麵積，m²
（2）不同標準采樣點數的差異
GB 50073-2001和 ISO 14644-1的規定與GB 50591-2010的規定有明顯的的差別（bié）。例如：對於5級2000m²的潔淨室，GB 50591-2010可選的采樣點數是800個，ISO 14644-1的少采樣點數是45個，兩（liǎng）個標準相差18倍。前者平均2.5m²測一個點，後者平均44m²測一個點。
有的操作者擔心44m²測一個點，即平（píng）均間隔7m遠測一（yī）個點，是（shì）否能全麵反映潔淨室的潔淨度。其實這種擔心不是多餘的。如果（guǒ）個別高效過濾器漏氣，遠離漏氣點采樣檢測時潔淨度合格，靠近漏氣點采樣檢測時潔淨度就可能不合格。
事實是ISO 14644-1規定采樣點數是少（shǎo）采樣點數。少采樣點數不等於合理（lǐ）的采樣點數，確定合（hé）理的采樣點數還需要考慮下列因素：是幾個區間；區間形狀（zhuàng）是否整齊；潔淨（jìng）狀態是否均勻；過濾器是否檢漏。
考慮到上（shàng）述情況，合理的采樣點數有可能遠大於少采樣（yàng）點數。
如（rú）果有這樣一個前提（tí）：每個高效過濾器（qì）都經（jīng）過嚴格的檢漏，保證全部過濾（lǜ）器都沒（méi）有泄漏現象，而且設計合理。那麽盡管（guǎn）檢測點很少，隻要檢測結果合格，就（jiù）能保證整個潔淨室潔淨度合格。
反（fǎn）之，如果高（gāo）效過濾器（qì）沒有經過嚴格的檢漏，過濾器有泄漏現象（xiàng），即使設計合理（lǐ），如果潔淨度的檢測點很少，雖然檢測（cè）結果合格，也不能保證整個潔淨室的潔淨度合格。
ISO 14644標準對於高效過濾器檢漏要求（qiú）得多。如果過濾（lǜ）器都經過嚴（yán）格檢漏，檢測點少是可行的。因（yīn）此有兩種做法：一是對過濾器逐個嚴格檢漏，少量取點檢測室內潔淨度；二是大量取點檢測潔淨度，如果某點達（dá）不到潔淨度要求，對近的過（guò）濾器進行檢漏。
這兩種方（fāng）法可以根據（jù）檢測的難度、工作（zuò）量等因素選取。第二（èr）種方法更可靠，而且較經濟。
3、采樣量
標準（zhǔn）ISO 14644-1對於采樣量有以下要（yào）求：
（1）采（cǎi）樣點單次少采樣量（V_m）按下式（shì）計算：

式中，V_m為每個采樣點單次少采樣量，L
    C_a，a為相（xiàng）關等級規定的所選大粒徑的等級限製，pc/m³
    20為假如粒子濃度處於空氣潔淨度（dù）等級限（xiàn）值，應（yīng）被儀器測得的少粒子數
（2）每個（gè）采樣點的采樣（yàng）量不少（shǎo）於2L。
（3）采樣時間不少於1min。
（4）僅有（yǒu）一個（gè）采（cǎi）樣點（diǎn）時，該點的采樣次數不少於（yú）3次。
（5）采樣點單次（cì）少采樣量（V_m）計（jì）算實例：
1）ISO 4級
若以0.3um為準（zhǔn），C_a，a=1020pc/m³

若以0.1um為準，C_a，a=10000pc/m<sup>3

2）</sup>ISO 5級
若（ruò）以0.3um為準，C_a，a=10200pc/m³

若以0.5um為準，C_a，a=3520pc/m<sup>3

（6）GB 50591-2010的規定是：小采樣量（liàng）=3/級別濃度下限
兩個標（biāo）準的規定有（yǒu）差別，但差別大不。
4、采樣條件
（1）對於單向（xiàng）流應盡可能做到“等速采樣”。
（2）采樣管的入口應對著氣流的（de）主（zhǔ）方向。
5、數據處理方法
（1）數（shù）據（jù）處理原則
1）當（dāng）采樣點多於9個時，將各采（cǎi）樣點微粒濃度的算術平（píng）均值作為潔淨室空氣中懸浮微粒的濃度。
2）當采樣點多（duō）於1個（gè）但少於10個時，應計算總平均值、標準偏差和95%置信上限。
3）如果（guǒ）在每個采樣點測得的粒（lì）子濃度平均（jun1）值的95%置信上限未超過所檢測潔淨室或潔淨區的（de）濃度限值，則認為該潔淨室或潔淨區達到了規定的（de）潔淨度（dù）級別。
4）如（rú）果檢測結果未能滿足規定的潔淨度（dù）級別，可增加均勻分布的（de）新采（cǎi）樣點進行（háng）檢測，對包括新增采（cǎi）樣點數據在內的數據重新計（jì）算的結果（guǒ）就是確定的結論。
5）如果95%置信上限的計算結果未達到規定（dìng）的等級是由於檢（jiǎn）測差錯或空氣中粒子濃度異常低而造成的單個限外值，則該值可以不計。</sup>
注：在統計分析中隻考慮不均（jun1）勻性的標準偏差，未考慮測量儀器的標準偏差，如（rú）校準標準偏差。
（2）數據處理的（de）計算
1）采（cǎi）樣點微粒濃度的平均值按下式計算：

式中，X_i，j為i采樣點，第j次測得的微粒濃度
    n為i采樣點（diǎn）上的測定次數。
2）微粒（lì）濃度的總平均值按下式計算：

式（shì）中，m為采（cǎi）樣點的個數
3）采樣點濃度不均（jun1）勻性的標準（zhǔn）偏（piān）差S按下式計（jì）算：

4）置信度（dù）95%的微粒濃度總平均值的上限（xiàn）按下式計算（suàn）：

注：對於正態分（fèn）布，置信度為（wéi）95%的擴展因子近似為2。