潔淨室用檢測儀（yí）器--特殊測量儀器

1、振動儀
振動儀主要是用於測定潔淨室地基的振動，一般靈敏度較高（gāo），量程較小，多數屬於（yú）微米級。振動儀的主要參數是振（zhèn）幅和頻率。
2、氣體濃度測試儀
氣體濃度測試儀是一個大類（lèi），不（bú）同的氣體有不同的測（cè）試儀器，同一種氣體也有不同的測試儀器，不同的濃度往往需要不同的（de）測試儀器，所以隻能具體問題具（jù）體分析。概括的講，氣體濃度（dù）測（cè）試方法分為兩大類：
一（yī）類是使用直讀（dú）儀器，也就（jiù）是使用能直接讀出氣體（tǐ）濃度（dù）數（shù）值的儀器。這種儀器一般（bān）是由化學傳感器和數字顯示（shì）係統組（zǔ）成，現場檢測，直（zhí）接讀出氣（qì）體濃度。這種儀器（qì）的（de）特點是使用方便、速度快，但往往靈敏度不高，壽命較（jiào）短。
另（lìng）一類（lèi）是采樣後用儀（yí）器分析，也就（jiù）是先用采樣器采取氣體樣品（pǐn），帶回實驗室後用儀器進行分析，獲得氣體濃度的數據。采樣的（de）方式分為兩大類：一類是直接采取被檢測的氣體；另一類是將需要檢測的（de）氣體吸收到用化學試劑配製的（de）液體中，有時吸收液還（hái）要經過一係列的化（huà）學處理，才能送入儀器中分析。此類測試（shì）方法的特點是操作比（bǐ）較麻煩，速度較慢，但一般靈敏（mǐn）度較高、可靠（kào）性較強。
3、氣（qì）溶膠（jiāo）發生器
氣溶膠發生器實際上是一種能向氣體（tǐ）中發散顆粒物的設備。潔淨行業習慣將（jiāng）含有顆粒（lì）物的氣體稱為氣溶膠，所以將向氣體中發散顆粒物的設備稱（chēng）為氣溶膠發（fā）生器。如果發散顆粒物是標準的則（zé）稱為“標準顆粒發霧器”。能夠製造標準顆粒，並且直接將標準顆粒發散到超淨氣體中的設備稱為“標準顆粒發生器”。
4、靜電測試儀
靜電測試儀有許多種（zhǒng）類（lèi），例如靜電電壓（yā）計（jì）、高阻電阻計、充電板監（jiān）測儀等（děng）。
5、顯微鏡
顯微鏡是檢測顆粒尺度直觀的儀器，所以標準顆粒盡量使用顯微鏡進行標定。顯微鏡的種類（lèi）繁多，比較可（kě）靠的是光學顯微鏡和電子顯微鏡。
（1）光學（xué）顯微（wēi）鏡
光學顯微鏡有三大類：一類是生物顯微（wēi）鏡。其特點是光線（xiàn）透過樣品成（chéng）像，可以理（lǐ）解為是透射式光學顯（xiǎn）微鏡。主要應用於生物、醫學行業，所以稱為生物顯微鏡。二類是金相顯微鏡，特點是使用樣品（pǐn）的反射光成（chéng）像（xiàng），可以理解為是（shì）反射式光學顯微鏡。主要應用（yòng）於冶金（jīn）、機械行（háng）業，所以稱（chēng）為金（jīn）相顯（xiǎn）微鏡（jìng）。三類是（shì）岩相顯微鏡，特點是使用（yòng）偏振光成像，可以理解為是偏振光學顯微鏡。主要應用（yòng）於（yú）岩石（shí）、礦物行（háng）業，所以稱為岩相顯微鏡。
光學顯微鏡的優點是：放大倍數穩定（dìng），操作比較簡單；缺點（diǎn）是：放大倍數（shù）、分辨力都不高，不能用於測定小的顆（kē）粒。光學顯微鏡一般隻能看到不小於0.5um的顆粒，能夠（gòu）檢測不小於5um的直徑。對於小顆粒需要使用電子顯微鏡。
（2）電子顯微鏡
電子顯微鏡就是使用電子成像的顯微鏡。電子顯微鏡有許多種（zhǒng）類，其中常用和比較成熟的（de）有兩大類：透射電（diàn）子顯微鏡和掃描電子顯微鏡。
1）透射電子顯（xiǎn）微鏡。透射（shè）電子顯微鏡的成（chéng）像原理類（lèi）似於生物顯微鏡，隻是用電子代替了（le）可見光，用電（diàn）磁透鏡代替了玻璃透鏡。透射電子顯微鏡可以將物（wù）體放大上百萬倍，可（kě）以看（kàn）到（dào）小（xiǎo）於1nm的物體（tǐ），用於測量顆粒物綽綽有餘。用顯微鏡測（cè）量物體的尺度，需要有長度標（biāo）準器具，長度標準器具的形狀（zhuàng）和分度需要（yào）穩定。然（rán）而透射電子顯微鏡是使（shǐ）用電子（zǐ）透（tòu）過樣品成像，電子（zǐ）的穿透能力很差，即使是10萬伏電壓加速的電（diàn）子，也不能穿透100nm厚的物（wù）體（tǐ）。厚度小於100nm的物體非常柔嫩（nèn），即使是鋼鐵或（huò）礦石，也（yě）會像塑料薄膜那樣（yàng）隨風漂浮，其形狀和尺度都（dōu）不穩定。因此，直到現在還沒有合理合法可（kě）供透射電子顯（xiǎn）微鏡使（shǐ）用的長度（dù）標準器具，所以還不具備用透射電子顯微鏡測量標準顆粒尺度的充分條件。
2）掃描電子（zǐ）顯微鏡。掃描（miáo）電子顯（xiǎn）微鏡有點（diǎn）像（xiàng）金相顯微鏡，成像電子不（bú）穿過（guò）樣品。掃描電子（zǐ）顯微鏡是用高能電子照射樣品，激發樣品發射二次電子，利用二次電子（zǐ）成像。由於二（èr）次電子（zǐ）的能量較（jiào）小，運動（dòng）的速度較慢，不能像金相顯微鏡或透射電（diàn）子顯微鏡那樣聚焦成像，隻能通過逐點掃描，點點對應成像。掃描電子顯微鏡的放大倍數（shù）和（hé）分辨力雖然沒有透射電子顯微鏡高，但是也能放大幾十萬倍，可以看到幾個納米的物體，用（yòng）於測量大於10nm的（de）顆粒物是可行的。更重要的是：掃描電子顯微鏡可以觀察很厚的樣品，容易製（zhì）造長度標準器具。已有合理合法的（de）供掃（sǎo）描電子顯微鏡（jìng）使用的長度標準器（qì）具。