潔淨室如（rú）何進行靜電測試？

1、表麵（miàn）電荷電位測量
（1）測量點或待測物體應按合同文件的規定。選擇測試儀要依據（jù）待測物體是（shì）絕緣體還是（shì）導體以及其物理尺寸。
（2）手持儀器探（tàn）頭，其距接地的金屬板的距離按生產商的規（guī）定（dìng），將靜電計或場強計的（de）讀數（shù）調為零。
（3）手持探（tàn）頭使之與金屬板平行，與金屬板（bǎn）的距離（lí）按生產商的建議值。
（4）金屬板（bǎn）的表麵積應足夠大（dà），適合於所要求的的探頭開口，且金屬板足夠大，有合適的探頭與表麵間距比率。
（5）按（àn）生產商的說明，使探頭（tóu）接近物體表麵，並測量（liàng）表麵電壓，或測量電場。記錄每個規定測點的測量值。
2、表麵電阻（zǔ）測（cè）量
（1）具體測量條件按合同文（wén）件的（de）規定。
（2）應按生產商的建議以正確的間距將兩個電極設（shè）置在表（biǎo）麵上。用具有合適輸出電壓的（de）歐姆計測量表麵電阻。記錄下每個規定（dìng）測量點的（de）測量值。
（3）將一個電極接地，另一個電極應按生產商的建（jiàn）議放置在表（biǎo）麵（miàn）上。用具有合適輸出電（diàn）壓的歐姆計測量表麵電（diàn）阻。記（jì）錄下（xià）每個規定測量點的測量值。
3、離子發（fā）生器測（cè）試
（1）測量點或待測物體應按合同文件的規定。
（2）工業標準中規定的測量電離器（qì）性能的（de）儀器稱為（wéi）帶電板監（jiān）測（cè）器。它的基本組成是：一個已知電容量的孤立（lì）導（dǎo）電板，將板充電至已知電壓（yā）或使其電壓為零的電源，可測量板上的電壓及其達到預置水平的時間的測（cè）量手段。
（3）將CPM放在規定的測量點（diǎn），用電源將孤立的導電板充電至已知電壓。
（4）隨著（zhe）板（bǎn）上的（de）靜電荷被電離器所減少，測量該板上的靜電壓降至10%初始電壓的時間，即放電時間。在每個規（guī）定的測量點記錄測量值。
（5）重複該步驟，將板充電至已知負電壓。在每個規定的測量（liàng）點記錄測（cè）量值。
4、剩餘電壓測量
（1）測量點（diǎn）或待測物體應按合同文件的規定。
（2）將CPM放在規定（dìng）的測量點，將孤立的導（dǎo）電板接地以消除殘餘電荷（hé）。如需要，將CPM讀數調為（wéi）零（líng）。斷開接地連接。
（3）允許孤立的金（jīn）屬板有充分的（de）時間（jiān）從電離器獲得電荷，且讀數穩定。記錄剩餘電壓。