懸浮粒子計數檢測步驟

檢測目的：檢測潔淨室內空氣懸浮粒（lì）子等級。根據ISO 14644-1：1999（E）確定房間潔淨度分級。
儀器（qì）設備：塵粒計數器
檢測條件：靜態
對（duì）每種塵粒（lì）尺寸的允（yǔn）許計數限值：
ISO 4級：≤1020個/m³：0.3um以上
      ≤352個/m³：0.5um以上
ISO 5級：≤10200個/m³：0.3um以上（shàng）
      ≤3520個/m³：0.5um以上
ISO 6級：≤35200個/m³：0.3um以上
      ≤293個/m³：5.0um以上
檢測步驟：
參考：ISO 14644-1:1999（E）空氣潔淨度分級
   NEBB潔淨室認證（zhèng）檢測標準步驟（第（dì）二版）
1、本檢測應在其（qí）它所有（yǒu）檢測完成之後進行。
2、潔淨室在（zài）檢測進行前12小時通風。
3、潔淨室依照ISO 14644-1：1999（E）要求劃分為檢測網格，檢測網格數量由潔淨室麵積（m²）的平方根確（què）定。
4、ISO 5級潔淨室的采樣時間（jiān）間隔為1分鍾，ISO 4和6級潔淨室的采樣時（shí）間間隔為3分鍾，計數器的采樣率為28.3lpm（1立方英尺/分鍾）
5、在每個網格的中心位（wèi）置，距地板1m高度至少采樣一次，當（dāng）塵粒數超過允許計數（shù）上限75%，則（zé）該采樣點需3次采樣。
6、當室內存在（zài）障礙物，采樣點需高於障礙物表麵12英寸（1英尺）。
7、根據收（shōu）集的數（shù）據（jù）計算平均值，標準差及95%置信上限。
計算方法：

式中，C_i為網格（gé）平均濃度
    N為房間或區域內采樣點總數
標準（zhǔn）1：各采樣點（diǎn）的采樣量的大值（zhí）均小於大允許采（cǎi）樣量
標準2：（當2≤N≤9）
≤大允許采樣量
式中（zhōng）：

t_0.95中的t為（wéi）分布在N-1自由度下95%分位數。