
檢測目的:確定潔淨室空氣處理係統的容(róng)量,以(yǐ)維持空氣溫度和相對濕度在限度內。
檢測儀器設備:數字溫濕度儀
檢測條件:靜態
平均溫度:19~21℃(ISO 4級潔淨室與更衣室)
19.5~25℃(ISO 5級潔淨室與6級更(gèng)衣室)
平均相對濕度:40%~70%
檢測步(bù)驟:
1、檢測進行前完成全部氣流平衡。
2、檢測進行(háng)前空調係統至少連續運行24h。
3、潔淨室劃分的檢測網格不大於40m2。
4、溫度、濕度計置於檢測網格中心,地板以上1m處。
5、當室(shì)內存在障礙物(wù),監測點高於障礙物表麵6英寸。
6、各網格的讀值(zhí)需被記(jì)錄。
7、潔淨室平均溫度和(hé)平均相對濕度根據檢測數據進行計算。