潔淨室中的靜（jìng）電及其控製--靜電的危害及消（xiāo）除（chú）

一、靜電的危害
1、吸塵（chén）：生產過（guò）程中，由於靜電吸附作用，塵粒易吸附在器件和設備表麵，影響產品（pǐn）質量，造成故障。
2、電暈放電：電（diàn）暈（yūn）放電時，往（wǎng）往伴隨著電暈噪聲，對微電子（zǐ）設備均會造成幹擾。電暈放（fàng）電會嚴重影響MOS電路和雙極性集成電路的（de）產品質量。
3、引起火災或爆炸。
4、人體帶靜電會（huì）引起電擊（jī）。
二、靜（jìng）電（diàn）的（de）消除
靜電是難控製的因素之一（yī），靜電可以使半（bàn）導（dǎo）體器件生產中的廢品增多、降低電子設備的可靠（kào）性。實踐證明，在半導體器件（jiàn）的製造和測試過程中、在運輸和儲存（cún）中、在設備的安裝和（hé）調試以（yǐ）及使（shǐ）用過程中，半導（dǎo）體器件都可能受到靜電的作用。因此，在半導體器（qì）件的生產中，實際上所有的製造階段都需要防止靜電對器件的作用。
消除靜電的（de）方法很多，對有防靜電（diàn）環境要求的潔淨室工程，常用以下幾種方法：
1、選用合適的材料
采用不易產生（shēng）靜電或產生靜電後（hòu）能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表（biǎo）中位置接近的材料（liào）。
所有的材料均可（kě）歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流能夠通過的材料（liào），絕緣體是電流不能（néng）通過的材料。
導體由於其本身的電特（tè）性（電阻率）有著很大的差異，故又可進一步分為良導體（即通常的導體（tǐ））和不良（liáng）導體（即（jí）耗散材料），兩者均具（jù）有維持電流的能力而區別於絕緣體。
Ω.cm是電阻率的測量單位，它的定義是一個邊長1m的立方體樣本維持單位電流所需的電壓值。
Ω/sq是表麵電阻率的測量範圍，其定義是單位（wèi）電流通過（guò）正方形材料樣本所需的（de）電壓。
（1）導（dǎo）電材料。導電材料是指表麵電阻率（lǜ）小於1*10⁵Ω/sq或體（tǐ）積電阻率小於1*10⁴Ω.cm的材（cái）料。
（2）耗散材料。耗散材料是指表麵電阻率大於等於（yú）1*10⁵Ω/sq，但小於1*10¹²Ω/sq或體積電（diàn）阻率（lǜ）大於等於1*10⁴Ω.cm但小於1*10¹¹Ω.cm的材料。
與（yǔ）導電材料相比，耗散材料的（de）電荷流動速度更緩（huǎn）慢，但在（zài）某種程度上更容易（yì）受控。耗散材（cái）料可用於靜電放電的控製，因其放電速度緩慢，可以避免對生產的微結構如光刻工藝造成損傷。
上麵提到的靜電（diàn）引力和汙染控製問題隻是靜電造成的負麵影響的一（yī）個方麵，另外，靜電電荷從一個物體到另一個物體的釋放也會造成靜電（diàn）損傷。靜（jìng）電放電可以表現為電過載或瞬時釋放能量的放（fàng）電形式，使產（chǎn）品受（shòu）到實質性的損傷。
（3）絕緣（yuán）材料。絕緣材料是表麵電阻率大於1*10¹²Ω/sq或體積電阻率大於（yú）1*10¹¹Ω.cm的材料。絕緣（yuán）體消散靜電的能力很差，甚至可以忽略不計。因此，對特別好的（de）絕緣體，如石英等（děng）接地不會起（qǐ）到任何作用。
2、接地
接地（dì）是帶電導體消除靜（jìng）電較普遍、經濟、簡便（biàn）、可靠的（de）方法。
（1）潔淨室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或（huò）粉體管道應采取防靜電（diàn）接（jiē）地措（cuò）施。
（2）電子工業潔淨室的圍護（hù）結構應（yīng）采（cǎi）用防靜電裝（zhuāng）飾，可以（yǐ）抑製（zhì）塵埃的帶電吸附。
（3）工藝設備接地。
（4）辦公設（shè）備應采用能防（fáng）靜電（diàn）的材料製成並接地。
（5）工作人員應（yīng）穿戴防靜電的無塵衣、鞋、手套、腕帶等。
（6）淨化空調（diào）係統的送、回風口和風管管壁是（shì）易於產生靜電的部位，在防靜電環境中，這些部件的材料除了使用（yòng）導電材料（liào）外，還應接地。
3、中和
將帶電體（tǐ）（靜電）周圍（wéi）的空氣離子化後，帶電的（de）離（lí）子（zǐ）在電磁場作用下發生遷移，帶電體吸引異性電荷達到中（zhōng）和而消除靜（jìng）電。
靜電消除器是一種能產（chǎn）生電子和離子的裝置，它產生的電子、離子與（yǔ）帶電體上的異性電（diàn）荷中和（hé），從而消除靜電。絕緣材料表麵所帶的靜電荷、空氣中的（de）靜電荷必（bì）須用靜電中和的辦法來消除。
4、濕度控製
在眾多消（xiāo）除靜電的方法中（zhōng），室內濕度控製（zhì）也被認為可以用來（lái）減少和消除潔淨室靜電。通過在環境中保持高的相對濕度，在該區域內物體的表麵將（jiāng）形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導電的通道，使得可能產生的電荷流過該濕氣層耗散靜電（diàn）荷。另外，薄薄（báo）的濕氣層可以（yǐ）增加物體表麵的潤滑性（xìng），摩（mó）擦生電（diàn）也將減少。一般來說，濕度越低，產生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時也會產生顯著的靜電電（diàn）壓。