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氣流目檢的（de）目的是確認潔淨（jìng）室或（huò）設施中氣（qì）流的空間與時間特性，這是整個測試程序的（de）組成（chéng）部分。為了有（yǒu）效的稀釋或排替室內空氣的懸浮汙染物，從而防止室內的汙染積累，以維（wéi）持其所需的潔淨度。因此，室內合理的氣流流型，以及充分的氣流流動（dòng）至關重要。
為保（bǎo）證（zhèng）關鍵區域達到潔淨的（de）水平，希望送風直接來自高效過濾器出風口，但設備、照明燈具所產生的熱量有可能幹擾氣流，障礙物會妨礙送風進入（rù）關鍵區；障礙物或工藝設備（bèi）的外（wài）形，可使單向流變（biàn）成（chéng）紊流等（děng）。通過目檢（jiǎn）氣流的運動狀況，可以發現是否存在上述相關情況，可以發現在哪些部（bù）位形成了渦流，不利於汙染物排除。
1、氣流目檢的方法
可用以（yǐ）下3種方法進行（háng）氣流目（mù）檢：
（1）示蹤線法
（2）示蹤劑注入法
（3）用圖像處理技術檢測氣流的方法
前兩種（zhǒng）方法實際（jì）上是用置於流場的纖維（wéi）示蹤，或利用引（yǐn）入流場的示蹤微粒物質來目檢潔（jié）淨室或潔淨設施中氣流的流向。用（yòng）攝像（xiàng）機、化學膜、磁（cí）盤或磁帶記錄下（xià）各不同位置氣（qì）流的分布圖。
目檢中所采（cǎi）用的纖維示蹤線或示蹤微粒應對潔淨室無汙染，同時（shí）能確（què）切的跟隨、反映氣流的流線。
第三種方法適用於要求量化潔（jié）淨室（shì）或設施內氣流速度分（fèn）布的情況，這種方法是基於示蹤粒子的計算（suàn）機圖像處理技術，對檢測設備的要求較高。
2、氣流目檢（jiǎn）的操作
無論采（cǎi）用何種方法，在檢測中都要格外注意防止操作者幹擾正在進行（háng）考察的氣流。具體操作（zuò）方（fāng）法如下（xià）：
（1）示（shì）蹤線法（fǎ）
通（tōng）常把單根尼龍纖維、絲線或塑料薄膜帶等輕柔物質固定在支（zhī）撐杆的尖頂，並將其置於氣流中或綁紮在處於氣流中的細鋼（gāng）絲網格的交叉點處，以觀察（chá）氣流的方向和（hé）因幹擾引起的氣流波動。為觀察方便、清（qīng）晰，較強的照明是必要的。
（2）示蹤劑注入法
通常采用的示蹤材料如去離子水，噴（pēn）霧法或化學法（fǎ）生成乙醇/正二醇等材料的示蹤粒子。要求示（shì）蹤（zōng）劑對環境，特（tè）別是對潔淨室及設備表麵無汙染（rǎn），同時便於形（xíng）成合適的粒子尺寸（cùn）。過小液滴尺寸不利於圖像處理技術的圖像質量，過大的液滴尺寸（cùn）又可能在運動過程中受重力和其他力作用的影響而偏離氣流流線。測試中靠高強度光源在隨氣流運動的（de）示（shì）蹤粒子表（biǎo）麵形成的反射，便於（yú）測試者（zhě）用眼睛觀察或用設備形成圖像，來判（pàn）定氣流的方向和均勻性。
（3）用圖像處理技（jì）術檢測氣（qì）流的方法
采（cǎi）用上述示蹤劑注入法得（dé）到的在攝（shè）像機或膜上的粒子圖像數據，用配（pèi）置有適用接口的計（jì）算機，通過記錄相關資料數字的（de）處理軟件（jiàn），在計算機屏幕（mù）上可觀看（kàn）氣流特性，還在所觀測（cè）氣流中可輔以激光光源等裝置以提高（gāo）其空間分辨率。
3、關於氣流流型的測點布置
ISO 14644等相關標準對測點布置未作規定（dìng），建議由用（yòng）戶與供應商（shāng）協商，選擇測量點的數目和位置，測試點或平麵位置定在臨界工作平（píng）麵內。如果要評（píng）估氣流方向（xiàng）的均勻性（xìng），則宜（yí）選擇較多的測點。因此，一般由測（cè）試（shì）單位按常規提出方案，征得用戶和供應商、承包商認同即可。
國內行業標準JGJ71-90《潔淨室施工及驗收規範》中，作了如下規定：
（1）垂直單（dān）向流（liú）潔（jié）淨室選擇縱、橫剖麵各1個（gè），以及距地麵高度0.8m、1.5m的水平麵各1個；水平單向流潔淨室選擇縱剖麵和工作區高（gāo）度水平（píng）麵各1個，以及距送、回風牆麵0.5m和（hé）房間中心處3個（gè）橫剖麵。所有麵上的測（cè）點（diǎn）間（jiān）距均為0.2～1m。
（2）亂流潔淨室選擇通過代表性送風口中心（xīn）的（de）縱、橫剖麵和工作（zuò）區（qū）高度的水平（píng）麵各（gè）1個。剖麵上測點間距為0.2～0.5m，水平麵上測點間（jiān）距（jù）為0.5～1m，兩個風（fēng）口之間的中心線上（shàng）應有測點。
4、測試報告
按照用戶與供應商、承包商（shāng）的協議，在報告中應提供以下資料（liào）和數據：
（1）測試單位的名稱、通信（xìn）資料，測試人姓名、測試日期；
（2）所測潔淨室或設施（shī）名（míng）稱及毗鄰區域（yù）的名稱、測試點坐（zuò）標；
（3）參照的相關標準編號、版本日期（qī）、的性能標準及潔淨室所處狀態；
（4）由雙方認可的、所采用的測試方法與常規方法不同之處或特殊條件；
（5）測試儀（yí）器的名稱及其校準狀態；
（6）測試類型、目檢方法和測試條（tiáo）件（jiàn）；
（7）目檢點位置；
（8）按（àn）規定（dìng）記錄的圖像，采用圖（tú）像處理技術（shù）或速度分布測量時，各次測量的原始數據。
當前位置：