潔（jié）淨室汙染滲漏測試

ISO 14644明確規定此項測試，並指出特別是（shì）對於1～5級高級別潔淨室應有（yǒu）效的進行（háng）此項測試。此（cǐ）項測試的目的是（shì）用以測定有無受汙染（rǎn）的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區侵入到潔（jié）淨區，以評估潔淨室受周邊汙染的風險，為采取相（xiàng）應措施提供依據。此（cǐ）項（xiàng）測試（shì）可采用離散粒子計數器或氣溶膠光度計。
1、使用離（lí）散粒子計數器測試汙染滲漏
（1）測量緊靠被評估（gū）潔（jié）淨室外部（bù）的粒子濃度，該濃度應該比潔淨室高出10⁴倍，並且其濃度至少等（děng）於3.5*10⁶個待（dài）測粒徑的粒子。如果濃（nóng）度小於該值，為確保測試的可靠性應使用氣溶膠發生器生成氣溶膠，以提高相鄰外部空氣中懸浮粒子的濃度。
（2）檢查通過施工接縫或裂縫的滲漏情（qíng）況時，要在潔淨室內離待測（cè）縫隙或（huò）齧合麵5～10cm距離上進行掃（sǎo）描，其掃描速度約為5cm/s。
（3）當檢查敞開門廊處的侵入情況時，應在潔淨室內距開（kāi）敞門口0.3～3.0m的距離上（shàng）測量。
（4）記錄並報（bào）告較所測得的外部氣溶膠粒子濃度大於10^-3倍的讀值。
2、使用氣溶膠光度計測試汙染滲漏
按照在現場檢漏（lòu）高效空氣過濾器時相同的要求，在潔淨室或潔淨設施處生成足夠高濃度的氣溶膠，使得氣溶膠光度計（jì）在0.1%設定值時超負荷，氣溶（róng）膠光度計在0.1%設定值的讀值超過0.01%就表明有滲漏。
當檢查通過施工裂縫或焊縫的滲漏情況時（shí），要在離待測縫或密封表麵5～10cm的距離上掃描封閉體內部（bù），掃描速度約（yuē）為5cm/s。
當檢查敞（chǎng）開的門廊處的侵入情況時，在距離敞開（kāi）的門0.3～1m的距（jù）離上測量封閉體內部的濃（nóng）度。
記錄並報告（gào）所有超（chāo）過氣溶膠光度計0.01%標度的讀數。
3、測試報告
除去（qù）測試報告常規的各（gè）項內容外，還應特別報（bào）告：
（1）數據（jù）采集方法及相關（guān）細節；
（2）測量點的位置；
（3）測量工作在潔淨室所處何種狀（zhuàng）態下進（jìn）行。