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電子潔淨室有何設計特點?

更新時間:2021-02-23  |  點擊率:2795

電子潔淨室的設計特點有如下(xià):
1、平(píng)麵由工藝決定,電(diàn)子工業潔淨廠(chǎng)房的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
2、主體結構宜采用(yòng)大空間及大跨度柱網,不(bú)宜采用內牆承重體係。
3、大型電子工業潔淨廠房(fáng)常采用上技術夾層、下技術夾層(céng)這種“夾心”式多層構造。
4、應考慮大型生產工藝設備的(de)安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔淨生產環境的安裝口或檢修口。
5、電子工業潔淨室按二級耐火等級設(shè)計。
6、特種氣體的儲存和(hé)分配間應有耐火隔(gé)牆與潔淨室(區)分(fèn)開,該(gāi)牆(qiáng)耐火極限不低於(yú)1H。有毒(dú)的矽烷或其(qí)混合物氣瓶存區至少三麵是敞開的,氣瓶與周(zhōu)圍構築物或圍欄之間的距離應大於3M,儲(chǔ)存區設置的雨篷應不低於3.5M。
7、電子工業潔淨室的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質(zhì)的材料。
8、電子工業潔淨室(shì)允許設空(kōng)氣吹淋(lín)室,這是和一般生物潔淨室不同(tóng)的。吹淋室應與潔(jié)淨(jìng)工作服更衣(yī)室相鄰。單人(rén)吹淋室按大班人數(shù)為30人一間設計,當工作(zuò)人員超過5人時,應設旁門,當人數太多或為了縮(suō)短通過時間,也可設(shè)遂道式吹淋室。
9、對於高級別潔(jié)淨室(shì),為(wéi)了盡可(kě)能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具(jù)采用淨化淚珠形燈具。
10、電子工(gōng)業潔(jié)淨室常要根據生產工藝要求設置防靜(jìng)電(diàn)環境,以便抑製靜(jìng)電的產生,將已產生(shēng)的靜電迅速、安全的排除(chú)。
11、電子工業潔淨室友有對防微振的特殊要(yào)求,在(zài)廠地環境上應避開(kāi)振動源。
12、電子工業潔淨室除有一般給排水要求(qiú)外,對超大規格集成電路的用水也有標準。
電子潔淨室的環境參(cān)數:

參數

數       值

說       明

截(jié)麵風速/(M/S)

0.3-0.5

0.2-0.4

潔淨度1-3級(ISO)潔淨室

潔淨度4-5級(ISO)潔淨(jìng)室

換氣次數/(次/H)

50-60

15-25

10-15

潔淨(jìng)度(dù)6級(ISO)潔淨室

潔淨度7級(ISO)潔淨室

潔淨度8-9級(ISO)潔淨室

靜壓差/Pa

>5

>10

不同等級(jí)潔(jié)淨室之間以及潔淨室與非潔淨室

之間潔淨室與室外之羊

溫度/

18-22

16-20

按具體工程項目要求24-26

26-28

按具體工程項目要求

工藝無要求時的生產(chǎn)環境

人員淨化及(jí)生活用房

工藝有(yǒu)要求時的生產環境

工藝無要求時(shí)的生產環境(jìng)

人(rén)員淨化及生活用房

工藝有要求時的生產環境

相對濕度/%

30-50

按具體(tǐ)工程項目要求(qiú)

50-70

按具體工程項目要(yào)求

工藝無要求時的生產環境

工藝有要(yào)求時的生產環(huán)境

工藝無要求時的生產環(huán)境

工藝有要求時的生產環境

新(xīn)風量/[M3/(人.H)

40

 

噪聲/DB(A)

<65

單向(xiàng)流及單向流與非單向流並存的潔淨(jìng)室

照度/lX

300-500

200-300

非單向流潔(jié)淨室主要生產用房(有低照度要求的(de)如光(guāng)刻(kè)、顯示器件等除外)

其它用房(fáng)

照度均勻度

0.7

 

靜電表麵電阻率

1*105—1*1010

一級標準為(wéi)1*105—1*107

靜電體積電阻率

1*104-1*109

 

地麵對地的漏泄電阻(zǔ)

*105-1*108

 

靜電壓

<50(45%相對濕度)

4級(ISO)以上潔淨室

振動速度

振動加速度

振幅

相對位移量

 

根據工藝或精密設備、儀器儀表特性確定或參照國標《隔振設計規(guī)範》

電磁幹擾

 

4級(ISO)以上潔淨(jìng)室,當潔淨室靠近高壓輸配電設施時尤為重要




 

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