潔淨度檢測示例

例：潔淨室麵積為80m2，要求的潔淨度為5級，並要求對（duì）於0.3um和0.5um兩種粒徑的微粒進行檢測，應該如何進行？

1、檢測操作前的準備

（1）判斷（duàn）規定的被檢微粒的粒徑是否在5級粒徑（jìng）限值之內。0.3um和（hé）0.5um介於（yú）0.1um和5um之間，所以規定的被檢微粒在5級粒（lì）徑限值之內。

（2）判斷（duàn）規定的被檢微粒相鄰的較大粒徑是否不小於較小粒徑的1.5倍。

0.3*1.5=0.45，0.5＞0.45，符合要求。

（3）計算微（wēi）粒最大允許濃度，計算公式為：

計算結果：

1）對於粒徑不小於0.3um的微粒，最大允（yǔn）許濃度為10200pc/m3。

2）對於粒徑不小於0.5um的微粒，最大允許濃度為3520pc/m3。

（4）計算最少采樣點數。計算結果（guǒ）：最少采樣點數為（wéi）9個。

（5）計算單次（cì）測定的最少采（cǎi）樣（yàng）量（liàng），計算結果：

對（duì）於不小於0.3um的微粒，a=10200pc/m3，代入公式：

檢測如下：

2、數據處理

因為采樣點數小於（yú）10，所以應該考慮95%置信（xìn）度的微粒濃度（dù）的上（shàng）限。

（1）每個采樣點的平均值。每個采樣點隻采樣一次，所以每個采樣點的一次測得值可以作為該點的平均值。

（2）總平均（jun1）值

1）對於不小（xiǎo）於0.3um的微（wēi）粒：總平均值為6349 pc/m3。

2）對於不小（xiǎo）於0.5um的微粒：總平均值（zhí）為706 pc/m3。

（3）采樣點平均值的標準偏差（chà）

1）對於不小於0.3um的微粒（lì）：2154

2）對（duì）於不小於0.5um的微（wēi）粒：382

（4）計算置信上限。置信度取95%，采樣點數m=9，從t分布表中查出t值為1.9。

1）對於不小於0.3um的微粒（lì）：

2）對於不小於0.5um的微粒：

3、檢測結（jié）果的判斷（duàn）

1）對於不小於0.5um的微粒，a=3520pc/m3，代入公式：

                                                               
2）采樣（yàng）條件要求單次采樣量不小於2L。
3）采樣條件要（yào）求單次采樣時間不小於1min。

4、檢測操作（zuò）
（1）根據檢測條件要（yào）求，可選用（yòng）28L/min光（guāng）散射氣浮微粒測定儀進行檢測。
（2）每個采樣點（diǎn）隻采樣一次，檢測結果（guǒ）見下表。每點測得的微粒數值均（jun1）滿足潔淨（jìng）度級微粒（lì）數均滿足潔淨度級別的要（yào）求，95%置信的微粒濃度的上限也滿足潔淨度級別的要求，所以該（gāi）潔淨室的級別度符合要求。