
一、無塵室不攜入
(1) 作業員進(jìn)入無塵室前,機台、零(líng)件攜入前(qián)應進行(háng)清潔處(chù)理;
(2) 進入無塵室者在更衣室要穿著不(bú)發(fā)塵、不產生靜電的具(jù)特殊導電(diàn)性纖維材質的無塵服、帽(mào)、鞋、手套、口罩等;
(3) 通過時利用高速幹淨空氣除去附在衣服表麵的粒(lì)子後,才(cái)能(néng)進入無塵室;
(4) 機器(qì)及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀(zhuàng)態下帶進無塵室前室保養後用超純水擦拭,經風淋室吹(chuī)淋後才進入無塵室;
(5) 無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有(yǒu)filter的排氣用小型fan於腰間。
二、無塵室不發生
在控製zui大汙染源–人在無塵室(shì)內的(de)微粒子(zǐ)發塵量的同時(shí),也應控製第二大汙染源—製造機台的發塵量。因物品在移動時,所產(chǎn)生的摩擦及(jí)接觸剝離會造成發塵,而(ér)物品在移動時也會(huì)有微粒子的發生。故為了控(kòng)製發(fā)塵量達到zui小限度應采取以下對策:
(1) 減(jiǎn)少接觸(chù)剝離發(fā)塵的(de)動作形態(tài);
(2) 采用磨耗發塵(chén)小的材質;
(3) 采用發塵小的潤滑(huá)油;
(4) 機台應用空壓浮上的非接觸化工(gōng)作原理(lǐ)。
三、無塵室不儲備
若能*實施“不(bú)攜入”技術,無塵室內的潔淨度就可以維持。但(dàn)現實中人和(hé)物品的頻繁出入及製造機台的掣動,在廣大的無塵室內要有*潔淨度是不可能的(de)。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依(yī)據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表麵(miàn)。突發性的振(zhèn)動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子汙染的危險性在(zài)zui高等級的無塵室中從天花板到地麵(miàn),*除去超淨工作台微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直(zhí)向下流動。這是在約(yuē)10秒內(nèi)將室內空氣和*過濾空氣*交換所(suǒ)計(jì)算出來的數值。同時,空氣的流向也必(bì)須(xū)要有的控(kòng)製才行。特別要保(bǎo)證氣流的流(liú)通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發生的微粒子無法快(kuài)速排除而長時間漂流在無塵室內,而一部分會附著在周邊機器設備(bèi)的(de)表麵而引起汙染。控(kòng)製氣流可防止微粒子累積,但對於(yú)帶電表麵的微粒累積就無法防止(zhǐ)。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附(fù)著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而(ér)對於製造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品(pǐn)材料,並藉由除電裝置進行除電。
四、無塵室排除、除去
在(zài)無(wú)法避免大量微粒子發生的機台中,為了不讓無塵室內產生(shēng)微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所(suǒ)謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由於(yú)導入同量的外氣是必要的,但會伴(bàn)隨(suí)大量的能源消耗。所以無法(fǎ)說是理(lǐ)想(xiǎng)的對策。因此盡可能地在(zài)壓縮排氣量的同時,不僅僅是向(xiàng)無塵室外排氣,而應(yīng)采用(yòng)將除去粒子後的空氣(qì)再回流到無塵室內(nèi)之(zhī)對策。