不同潔淨級別潔淨廠房的送（sòng）風量（liàng）、冷量投（tóu）資耗電（diàn）的指標

注：表（biǎo）中的送風量、單向流以斷（duàn）麵風速表示，非單向流以換氣（qì）次數（shù）表（biǎo）示。
表中冷量指標（biāo）一般指電子工業潔淨廠（chǎng）房。
表中的初（chū）投資包括潔淨廠房的圍護、冷（lěng）凍供應係統、空調淨化係統，不含土建結構和自動（dòng）控（kòng）製的投資。
表中的耗電量係指製冷係統（tǒng）和空調送風係統耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。