
1、本測試用於確認有無被汙染的空氣(qì)從相(xiàng)鄰潔淨室(區)或非(fēi)潔淨室(區)通過吊頂、隔牆等表麵或門、窗滲漏入潔淨室(區)。一般適用於1級至5級的潔淨室(區)進行測試。采(cǎi)用光度計法和粒子計數器法進行測試。
2、采用(yòng)粒子(zǐ)計數器法時,測量被(bèi)評價的表麵(miàn)的潔淨室(區)外部的空氣中懸浮粒子濃度,應(yīng)比潔淨室(區)內的濃度大一個(gè)104的倍數,並至少大(dà)於等於3.5×106/m3待測粒徑;若其空氣中懸(xuán)浮粒子(zǐ)濃度(dù)小於該(gāi)值,應添加氣(qì)溶膠提高濃度。
粒子計數器(qì)掃描時,儀器應距離潔淨室(區)內待測試的接縫密封處或齧合麵5~10cm;掃描速度5cm/s。對敞開的門廊處(chù)的測試,應在距離潔淨室(區)內敞開(kāi)的門0.3~3.0m處檢測空氣中懸浮粒子濃度。
3、采(cǎi)用光(guāng)度計法時,測量(liàng)被(bèi)評價的表麵的潔淨室(區(qū))外部的空(kōng)氣中懸浮粒子濃(nóng)度(dù)高於光(guāng)度計按0.1%設定值的負載,若光度計為(wéi)0.1%刻(kè)度(dù)值的讀數超過0.01%就(jiù)表明有滲(shèn)漏。