潔淨室性能測試的儀器和儀表-風壓（yā）測試儀器

風壓測試（shì）儀器：主要用於測定潔淨室之間和潔淨與（yǔ）非潔淨區之間微壓差，也可利用壓差法測量風速，計（jì）算（suàn）風量。
1、液體壓力計：液體壓力計具有使用（yòng）方便、價格低（dī）廉、度較高、製造安裝方便等優點，但有測量範圍受限（xiàn）製、玻璃管易（yì）碎等缺點。
常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔淨室測量中主（zhǔ）要是酒精和水。
液體壓力計主要有：U型管壓力計、斜（xié）管壓力計、補償式（shì）壓力（lì）計。
2、彈簧壓（yā）力（lì）計（jì）：彈簧壓力計是根據彈簧元件在所測壓力作用下發生變形，其變形量與所測壓力成（chéng）函數關係這一原理製成的，其優點是構造簡單、便於攜帶、安裝方便、價格低（dī）廉。
常用的彈簧壓力計主要有：彈簧管壓力計、膜片（piàn）管壓力（lì）計和膜核壓力計。
3、電學壓力計：電學壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電（diàn）學方法來測定壓力的壓力計，適用於測量變（biàn）化極（jí）快、數值很高或近乎真（zhēn）空時的壓力。