
對(duì)於潔淨室的塵源,除了來自室外大氣的塵粒和(hé)進入潔淨室的人和物攜帶的灰塵之外,潔淨室內的發塵源主要來自於潔淨室內操作人員,潔淨室的圍(wéi)護和潔淨室內生產工(gōng)藝(yì)設備和生產過程的產(chǎn)塵。
1、潔淨室內作業人員的產塵。作業人員的產塵與所穿(chuān)的潔淨工作服的材料、型式、著裝情況和作業(yè)人員本身的動作有關。因此,潔淨室內的作業人員必須穿規定的工作服而且動作也要受到一定的限製。
通常情況下,一般電子裝配工藝穿全身型潔淨(jìng)工作服輕微動作時,人員的產(chǎn)塵量為3.5 ~ 5.0×105個/人(rén)·分(≥0.5µm)。是潔淨室內的zui主要(yào)的發塵源。
2、潔淨室圍護和室內表麵的產塵。隨著潔淨室(shì)裝修材料的發展,耐磨(mó)、抗靜電、少產(chǎn)塵(chén)的材(cái)料出現,潔(jié)淨室內建築產塵量越來越小。一般認(rèn)為潔淨室單位建築麵積產塵為3 ~ 5.0×104 /m2·分(≥0.5µm)。可見10平方米建築產(chǎn)塵隻相當一個作業人員的(de)產塵量。
3、生產設備和(hé)生產過(guò)程的產塵:這一產塵量與設備(bèi)和生(shēng)產過(guò)程本身(shēn)有直接關係。不同設備、不同(tóng)生(shēng)產工(gōng)藝的產塵量(liàng)差別極大。在日本的資料介(jiè)紹,一台(tái)電動(dòng)機的產塵量大約為4.5 ~ 45×104個(gè)/台·分(fèn)(≥0.5µm)。