
1、靜電的危害
a、靜電產生電(diàn)場能擊穿電子和微電子產品造成廢(fèi)品(pǐn);靜電放電產生電磁波會引(yǐn)起(qǐ)電子儀器(計算機和控(kòng)製設備)的誤動作,放電產生火花可使感(gǎn)光材料曝(pù)光。
b、潔淨室內靜電的帶電體,灰塵會依附在其表麵,成為潔淨室的汙染(rǎn)源,影響潔淨室的潔淨度(dù)。
c、潔淨室的靜電聚集放電會誘發引起火災和爆炸(zhà)影響潔淨室的安全。因為潔淨(jìng)室內生產會使(shǐ)用大量的易燃易爆的氣體,溶劑和有機物(wù),潔淨室封閉性很強,人員疏散較困難造成火災,損失更(gèng)大。
2、靜電的起因
由於某種原因引起電荷(hé)移動(dòng),正負電荷失去平衡,這樣物體就帶有靜電,造成電荷移動的因素主要有:
a、接觸帶電(diàn):其中還包括有(yǒu)磨擦帶電、滾動帶(dài)電、剝離帶電、噴射帶電等。
b、感應帶電
c、流動帶電
d、電暈帶電
3、防靜(jìng)電措施(shī)
a、潔淨室圍護的防靜電:即用高導電率材料來建造潔淨室的(de)圍護(牆、頂、地)地麵要采用由電阻(zǔ)值為104~106 Ω導靜電(diàn)材料或電阻值為106~109Ω的抗靜電材料(liào)製作。主要有良好的接地。牆和頂要采用表麵電阻值為106~108 Ω的鋁蜂窩或岩棉彩鋼板等金屬材料製作。並要有良好的接(jiē)地。
b、人員的防靜電(diàn):潔淨(jìng)室的作業人員要穿防靜電的潔淨工作服,在衣(yī)服的織(zhī)物中加(jiā)入金屬纖維、碳素(sù)纖維(wéi)等導電(diàn)材料。必要時作業人員(yuán)手腕上配帶接地腕環。
c、生產工藝允許時還可以用(yòng)提(tí)高潔淨室內空氣的相對濕度的辦法來消除靜電。