電（diàn）子潔淨室的靜壓差檢測

1、檢測要求      
（1）靜壓差的測定要求在潔淨區內（nèi）的所有的門全部關閉情況下（xià）進行。      
（2）在潔淨（jìng）室平麵上應從潔淨度由高到低的順序依（yī）次進行，一直檢測到直通室（shì）外的房間。     
（3）測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可，測管口麵與氣流（liú）流線平行。     
（4）所測量記錄的數據應到O.lPa。   
2、普通（tōng）傳遞窗檢測方（fāng）法     
（1）先關閉所有的門。
（2）用微差壓計測量各潔淨室之間、潔淨室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。     
（3）記錄所有數據（jù）。
3、測量儀器（qì）采用YJB-150補償微壓計，量（liàng）程0—1 500Pa或其他微壓力（lì）計，儀表靈敏度（dù）小於0.1Pa。     
4、合格標準按（àn）照傳遞窗原理潔淨室（shì）設計或工藝（yì）要求決定（dìng）維持被測潔淨室的正壓或負壓值。    
（1）不同級別的潔淨室（shì）或潔淨區與非潔淨室（shì）（區）之間的靜壓差，應不小於4.9Pa。     
（2）潔淨室（區）與室外的靜壓差，不應小於9.8Pa。      
（3）對於空氣潔淨度等級嚴於（yú）5級（jí）（100級）的單向流潔淨室在開門時，門內0.6m處的室內工（gōng）作麵含塵濃度應不大於相應級別的含塵濃度限值。    
（4）若達（dá）不到以上標準的要求，應重新調（diào）整新風量、排風（fēng）量，至合格為止。