潔（jié）淨室檢測常用的儀器（qì）儀表

一般計量儀表的精確度是（shì）分級的，對（duì）於（yú）1級儀表，其誤差限是大量程的1%。例如：對於大量（liàng）程為100℃的溫度計，其誤差為±1℃；對（duì）於（yú）大量程為30℃的溫度計，其誤（wù）差為±0.3℃。如果被測量的溫度（dù）是20℃，使用大量程為100℃的1級溫度計，測得值的（de）相對誤差為±5%；使用大量程為（wéi）30℃的1級溫度計，測得值的相對誤差（chà）為±1.5%。由此可見，使用精確度等級相同的儀表（biǎo），由於大量程不同，其測得值（zhí）的相對誤差的差（chà）別很（hěn）大。因為同等精確度下大（dà）量程越大誤差越（yuè）大（dà），所以在可能的條件下應盡量選（xuǎn）用量程較小的儀表。
1、溫度計（jì）
溫度（dù）計有多種，其（qí）中玻璃溫（wēn）度計（jì）的可靠性較好。如果潔淨室內使用其他類型的溫度計，應該另外準備一個精確度（dù）較高的玻璃溫度（dù）計，作為（wéi）校準其他溫度計的比對性標（biāo）準器。
（1）玻璃溫度計。玻璃溫度計是根據液體熱（rè）脹冷縮（suō）原理製造的。常用的液（yè）體是酒（jiǔ）精或水印。這種溫（wēn）度計雖然（rán）準確可靠，但反應較慢，讀數不直觀，不適合用於自動控製。玻璃溫度計讀數時（shí）應注意不能用手直接接觸液體球的外壁，讀數時眼睛應該平視。
（2）數字溫度計。數字溫度計的原理（lǐ）有多種，優點是讀（dú）數直觀，適合於自動控製，但有時可靠性較差。
2、濕度計
（1）幹濕球濕度計。液體揮發會吸收熱量，致使溫度下降；濕度（dù）越低，液（yè）體揮發得越快，溫度下降得越多。根（gēn）據這個原理製造（zào）出幹濕球濕度計。幹濕球濕度計具有結構簡單、價格低（dī）廉的優點，但讀數比較麻煩，不適合用於自動（dòng）控製。
（2）毛發濕度計。毛發濕度計（jì）是根據脫脂毛發隨濕度變化而（ér）變化的（de）原理製造出來的。指針式的毛（máo）發濕度計結構簡單、價格低廉，但不（bú）適合用於自動控製。
（3）露點濕度計。露點濕度計的原理是首（shǒu）先測定露點溫（wēn）度，根（gēn）據（jù）露點溫度對（duì）應的飽（bǎo）和水蒸氣分壓力與（yǔ）幹球溫度對應的飽和水蒸氣分壓力計算相對濕度。通過直接觀（guān）察確定是否結露的準（zhǔn）確（què）度較差，根據鏡麵反射光的強度確定是否結露的準確度較高。所以有直（zhí）觀的露點濕度計（jì），還有光電式露點濕度計。使用溫度傳感器測（cè）定露點溫度的光電式露點濕（shī）度計不僅精確度高，而且可以實現數字顯示。
（4）電容濕度計。電容濕度計的原理是：高分子薄膜吸（xī）收或釋放水分子的時候電容值發（fā）生變化，測定高分子薄膜的電容（róng）值可以確定空氣的濕度。常用（yòng）的高分（fèn）子材料是（shì）丁酸纖維素。電容濕（shī）度（dù）計（jì）可以用數字顯示濕度，便於監測和控製。
（5）電阻濕度計。電阻濕度計的原理（lǐ）是：金屬氧化物燒結（jié）而成的多孔（kǒng）狀陶瓷體或高分子材料吸收或釋放水分子的時候電阻（zǔ）值發生變化（huà），測定（dìng）該多孔狀陶瓷體或高分（fèn）子材料的電阻值就可以確定（dìng）空氣的濕度（dù）。用氧化鎳陶瓷製造的濕度傳感器壽命長、穩定性好，應用較廣泛。電阻濕度計也可以用數字顯示濕度，便於監測和控製。
3、氣壓計
（1）U形氣壓計。加入液體後，一頭與（yǔ）大氣連通，另一頭與被測的氣體連通，利用兩個玻璃（lí）管中的液麵差測量氣壓差。結合已知的大氣壓數值，可（kě）得到被測的氣壓值。U形氣壓計中常用的液體是純水、水銀、乙醇等（děng）。同樣長度的U形氣壓（yā）計，液體的密度越大，量程越大，精（jīng）確度越低；液體的密度越小，量程越小，精確度越高。所以，應該根（gēn）據量程和精確度選用適當的液體。
（2）斜管微壓計。可以理解（jiě）為U形氣壓（yā）計的變形。一般情況下，U形（xíng）氣壓計的玻璃管垂直讀數，斜管微壓計的玻璃管傾斜讀數。玻璃管傾斜後，同樣的壓差（chà）在玻璃（lí）管（guǎn）中顯示的距離較大，讀數的精確度較高。所以與（yǔ）U形氣壓計（jì）比較，斜管微壓計的讀數（shù）精確度要高一些。
（3）精密微壓計。此儀器結構比較複雜，雖然也是用純水顯示壓（yā）力，然而采用放大鏡（jìng）瞄準、螺紋微調、遊（yóu）標讀數，可以達到更高（gāo）的精確度。
（4）彈性氣壓計。此儀器是利用物體彈性製造的氣（qì）壓計。彈性（xìng）氣壓計種類（lèi）繁多，應用範圍廣泛。
（5）壓差計。壓差（chà）計與壓力計經常是可以通用的。有時可（kě）以測出（chū）壓力計算出壓差，有時又可以測出壓差計計（jì）算出壓力。U形氣壓計就是一種典型的通過測壓差計算壓力的儀器。
（6）電子（zǐ）壓力（lì）計。此（cǐ）儀表一（yī）器般是通過壓（yā）力傳感器、電子線（xiàn）路和顯示器直接用數（shù）字（zì）顯示壓（yā）力的數值。
4、風速計
（1）熱效應（yīng）風速計。熱效應風速計分熱線風速計和熱球風速計兩種。這兩（liǎng）種風速計（jì）的原理（lǐ）和和結構相似，其特點是靈敏度較高、穩定性較差（chà）。
（2）旋翼式風速計。旋翼式風速計有一定的摩擦阻力。以前摩擦阻力較大、靈敏度較（jiào）低，隨著技術的進步，阻力減（jiǎn）小，靈（líng）敏度提高，應（yīng）用範圍越來越大。
（3）氣壓風（fēng）速（sù）計。氣壓風速計（jì）的原理是根據氣體的動壓確（què）定風（fēng）速。一般使用皮托管和微壓計測定氣流的靜壓和全壓（yā），用全壓減去（qù）靜壓得到動壓。這種測定方法的可靠性較高，但是比較麻煩，而且要求壓力計的靈敏度較高。
5、風量計
（1）罩式風量（liàng）計。可以使用風速計測量風向垂直（zhí）截麵上（shàng）各點的風速（sù），取平均值乘以截（jié）麵積（jī）得到風量（liàng）。根據這個原理，將多個（gè）風速計（jì）組合在一起製造出罩式風量計（jì），可以直接（jiē）測定風量。
（2）浮子流量計。浮子流量計也稱為轉子流（liú）量計，是一（yī）種常用的氣體流量計。一般情況下，浮子流量（liàng）計用於（yú）測量中等流量的氣流，如10～500L/min。
（3）皂膜流量計。皂膜流（liú）量（liàng）計也是一種常用的流量計。一般多用於測量小流量（liàng）的氣流（liú）。
6、聲級（jí）計
聲級計是根據聲音振動（dòng）的能量（liàng）確定（dìng）噪聲的聲級，其顯示方式有指針式和數字式（shì）兩種，新製造的（de）多是數字式。
7、照度計
照度計根據照射到的光的能量確定照射（shè）光的強度，一般用數字顯示照（zhào）度值（zhí）。