潔淨室特定（dìng）要求的檢測

1、機（jī）械振動的檢測
（1）機械振動的（de）來源。機械振動（dòng）的來源主要有以下幾個方麵：大地固有的振動；潔淨室運行用設備的振動；生產用設備的振動；交（jiāo）通工具的振動；建築設（shè）備的振（zhèn）動；水流（liú）引起的振動；氣流引起的振動等。
（2）振動的危害。其影響精密儀器的準確（què）度和精（jīng）密加工（gōng）的精確度。
（3）振動的測量。振動主要有（yǒu）兩個技術參數：振動頻率和振幅。采用減振措施以後，振動量可以減小。用振動儀可以直接測量振動的強度。
2、靜電的（de）檢測
（1）靜電檢測的需求。靜電有可能（néng）損壞電子設備、儀器儀表、甚至傷害（hài）人體，引（yǐn）發爆炸（zhà）或燃燒。靜電對於集成電路的影響較（jiào）大，所（suǒ）以電子行業對於（yú）靜（jìng）電檢測（cè）的要求較高。《潔淨廠房設計規範》和《電子工業潔淨廠房設計規範》兩個（gè）強（qiáng）製性的國（guó）家標準都是中國電子工程設計院負責起草的（de），基本上代表了電子行業的觀點。標準中對（duì）於靜電有比較具體的要求。GB 50472-2008將靜電（diàn）分為（wéi）三個等級，相應的靜電點位值為：一級≤100V；二（èr）級≤200V；三級≤1000V。
（2）靜（jìng）電的主要檢測參（cān）數（shù）：包括電壓、電阻、電場、離子等。
（3）檢測方法。靜電檢測可參（cān）照GB 50591-2010和（hé）電子行業標準《電子產品和製造防靜電係統測試方法》（SJ/T10694）進行。
3、電磁場的檢測
（1）電磁場的（de）來源。有交變電流就（jiù）會有電磁場。高（gāo）頻電（diàn）流會產生電磁波。
（2）電磁場的危害。一般的電磁場會（huì）影響儀器儀表和自動控製係統。強電（diàn）磁場對人體有害。
（3）電磁場的測量。電磁場主（zhǔ）要有兩個技術指標，即頻率和（hé）強度，可以用場強儀進（jìn）行檢測。
4、射線的檢（jiǎn）測
（1）常見的（de）射線。常見的射線有電磁波、紫外線、X射線、γ射線、α射線、β射（shè）線等。
（2）射（shè）線的來源。交換變化的電磁場（chǎng）會產（chǎn）生電磁波，高頻的電磁波呈現射線特（tè）性，可（kě）以稱為電磁射線。紫外線（xiàn）多來源於紫外光源和太陽光。X射（shè）線多來源於（yú）被高能電子（zǐ）激發的物質。α射線、β射線多來源於具有放射性的（de）重元素（sù）。
（3）檢測方法。射線一般可以用相應的射線計數器檢測，射線計數器一般都是直讀儀器，使用比較方便。需要注意（yì）射線對人體危害較大，檢測人員需要注（zhù）意自我保護。
5、有害氣體（tǐ）的檢測
（1）有害氣體的來（lái）源。潔淨室有害氣體的來源主要有：通風帶進的有害氣體；室內裝飾材料散發的有害氣體（tǐ）；室內設備散發的有害氣體；工作過程產生的有害（hài）氣體；人員散發的（de）有害氣（qì）體。
（2）有害氣體的種類。不同的來源有不同的有害氣體，不同的對象有（yǒu）不（bú）同（tóng）的有（yǒu）害氣體（tǐ）。有的氣（qì）體對人體有害，有的氣體對儀器設備有害，有的氣（qì）體對產品有害。
（3）有害氣體的檢測方法。
1）用直讀儀器直接讀出有害氣體的濃度。直讀儀器（qì）主（zhǔ）要由兩部分組成：化學傳感器和電子放大顯示（shì）係統。此（cǐ）方法的特點是快遞、方便，缺點是（shì）往往精確（què）度較低、儀器的（de）使用（yòng）壽命較（jiào）短。
2）采樣後帶回實驗室，使用光譜儀（yí）、色譜儀等分析確定有害氣體的濃度。此方法的特點是精（jīng）確度較高、可靠性較強（qiáng），缺點是測定程序（xù）較（jiào）複雜、需要的時間較長。