探討超淨工作台的結構及如何空氣淨化

空氣經過（guò）過濾的生產環境首先被航空航（háng）天工業使用。即使一（yī）個極其微小的缺陷都可造成（chéng）衛星工作失誤，因此，NASA（美國航空航天中心）和其服務商們建造了（le）帶有過濾天花板夾層和過濾牆體的車間。而且*了許多基本（běn）的汙染控製（zhì）理念，其中包括（kuò）從工作人員潔淨服到潔淨室使用物的管理方法。
半導（dǎo）體工業采用了許（xǔ）多這方麵的技術。然而一個主要的問題是當從小（xiǎo）加工車間擴建為有更多工人工作（zuò）的大型車間後，很難保持其固有的潔淨度。早期半導體（tǐ）工業把帶過濾天花（huā）板（bǎn）夾層（céng）和牆（qiáng）體的方法演化為超淨工作台法。這個主要是把過濾器裝在單個工作台上，並使用無脫落的物（wù）質。在工作台以（yǐ）外，晶圓（yuán）被裝（zhuāng）在密封的盒子中儲存、運輸。
在（zài）大型車間中按順序排列的（de）工作台（叫做（zuò）工作層（céng）流罩）組成（chéng）加工區，使晶圓（yuán）依（yī）工藝次序經過（guò）而不（bú）從露於空氣中。潔淨（jìng）工作罩中的過（guò）濾器是一種顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器是由含許多小孔，並按手風琴琴葉折疊的脆性纖（xiān）維組成，由於高密度的小孔（kǒng）與大麵積的過（guò）濾層，使得大量的空氣低速流過。由於低速空（kōng）氣（qì）可避免產生空氣流，有利於工作台的潔淨度，並且對於操作員而（ér）言，在舒適的環境中工（gōng）作（zuò）也是必要的（de）。典型的空氣流量6為每分鍾90到100英寸。HEPA過濾器可（kě）達到99.99%或更高的過濾效（xiào）率（lǜ），並可用於三種淨化方（fāng）法中。
一般來（lái）說，HEPA過濾器裝於超淨工作台頂部。空氣由風扇吸入先通（tōng）過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，並以均勻平行的（de）方式流出，在工作台表麵改變方（fāng）向，流出工作台。安裝檔板可控製晶圓表麵空氣（qì）流動方（fāng）向，通常這種方式稱為空氣層流立式式工作台，它（tā）是由空氣流的方向命名的。有些工作台把HEPA過濾器裝於工作（zuò）台後部，這種方式被稱為空（kōng）氣層流平行式（shì）工作台。