
1、平麵由工藝決定,電子工業潔淨廠房的工(gōng)藝布局應適應電子產(chǎn)品發展的靈(líng)活性,滿足產品(pǐn)生產(chǎn)工藝改造(zào)和擴大生產的需求(qiú)。
2、主體結構宜采用(yòng)大空間及(jí)大(dà)跨度(dù)柱網(wǎng),不宜采用內牆承重(chóng)體係(xì)。
3、大型電(diàn)子工業(yè)潔(jié)淨廠(chǎng)房常采用上技術夾層、下技術夾層(céng)這種“夾心”式多層構造。
4、應考慮大型(xíng)生(shēng)產工藝設備的(de)安裝(zhuāng)、維修要(yào)求,設置必要的運輸通道和(hé)不影響潔(jié)淨生產環(huán)境的安裝口或檢修口。
5、電子工業潔淨室按二級耐火等級設計。
6、特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔牆與潔淨(jìng)室(區(qū))分開,該牆耐火極限不低於1H。有毒(dú)的矽烷或其混合物氣瓶存區至(zhì)少三麵是敞開的,氣瓶與周圍構築(zhù)物或圍欄之間的距離應大於3M,儲存區(qū)設置的雨篷應不低於3.5M。
7、電子工業潔淨(jìng)室的裝飾(shì)材料不得采(cǎi)用釋放對電子產品有影響(xiǎng)物質的(de)材料。
8、電子工業潔淨室允許設空氣吹(chuī)淋室,這是和(hé)一般生物潔(jié)淨室不同的。吹淋室應與潔淨工作服更衣室相鄰。單(dān)人吹淋(lín)室按zui大班(bān)人數為30人一間設計,當工作人員超(chāo)過(guò)5人時,應設旁門,當(dāng)人(rén)數太多或為了(le)縮短通(tōng)過時間,也可設(shè)遂道式吹淋室(shì)。
9、對於別潔淨室,為(wéi)了盡可能不影響氣流的單向(xiàng)性、平行性,照明燈(dēng)具采用淨化淚珠形燈具。
10、電子工業(yè)潔淨室常要根據生產工藝要求(qiú)設置防靜電環境,以便抑製靜電的產生,將已產生的靜電迅速、安全的排除。
11、電子工業(yè)潔淨室友(yǒu)有對防微振的特殊要求,在廠地(dì)環境上應避開振動源。
12、電子工業潔淨室除有一般給排(pái)水要求外,對超大規格(gé)集成電路的用水也有標準。