
無塵室內的氣流(liú)是左右(yòu)無塵室潔淨度的重要因素,一般無塵室的氣流速度(dù)是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區域,易受人、機(jī)器等的動作而幹擾趨於混亂、雖提高風速可抑製此一擾亂之影響而保持無塵室(shì)潔淨度、但因風速的提高,將影響(xiǎng)運轉成本的增加,所以應在滿足要(yào)求的潔淨度水(shuǐ)準之時,能以zui適當的風速供應,以達到(dào)適當的風速供應以達到經濟性效果(guǒ)。另一方麵欲達(dá)到無塵室潔淨度之穩定效(xiào)果,均一(yī)氣流之保持(chí)亦為一重要因(yīn)素,均一氣流若無法保持,表示風速有(yǒu)異,特別是在壁(bì)麵,氣流會(huì)延著壁麵發生渦流作用,此時要(yào)實現無塵室高潔淨度事(shì)實上很(hěn)困難。
垂直(zhí)層流(liú)式方向要保持均一氣流也是非常困難的(de),必須注重以下幾點:
1、吹出麵的風速不可有速度上的差異;
2、地板回風板吸入麵之風速不(bú)可有速度上的差異(yì)。速(sù)度過(guò)低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流(liú)之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均(jun1)一(yī),目前一般無(wú)塵室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。
影響無塵(chén)室風速的因(yīn)素:
影響無塵室的氣流因素很多,如製程設備、人員、無塵室組裝材料、照明器具等,同時對(duì)於(yú)生產設(shè)備上方氣流的分流點,亦應列(liè)入考慮因素(sù)。 一般操(cāo)作台或生產設備等表麵的(de)氣流分(fèn)流點,應設於無塵室空間與無塵室隔牆板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從製程區內部流向作業區,而(ér)將微塵帶走;若分流點配置在(zài)製(zhì)程區前方,將成為不當的氣流分流(liú),此時大部份的氣流將流(liú)至製程區之後,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵,工作台因而(ér)將受到汙染,產品合格率也勢必降低。無塵室內的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流(liú)現象發生,相對地在其附近之潔淨度將會(huì)較差,在工(gōng)作桌麵鑽上回風孔,將使渦流現象減少zui低;組裝材料之選擇是否恰當、無塵室設備布局是否*,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。