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潔(jié)淨室的壓差測試

更新時間:2020-01-31  |  點擊率:3092

為防止汙染物透過(guò)圍護結構縫隙侵入潔(jié)淨室,潔淨室及潔淨設施(shī)的圍護結構(gòu)應有良好(hǎo)的氣密性,同時和(hé)不清潔的周邊環境要維持一定的正壓差。潔淨室的正壓是靠送風與回風和排風的差值實現(xiàn)的。
當潔淨室相對於周邊環境具有的正壓差,則通過潔淨室的縫隙、開孔外溢的氣流量(liàng)為:                    
(式一)
此時,潔(jié)淨(jìng)室相對周圍的正(zhèng)壓為:
(式二(èr))
式中,為空(kōng)氣流過縫隙或孔口的(de)局部阻力係統;
          為空氣(qì)流(liú)過縫隙或孔口的流(liú)速,m/s;
         為空氣密度,kg/m3
由式(shì)二可得:

則維持正壓時(shí)的(de)泄漏風量為:

(式三)
式中,為縫隙或孔口的(de)過流麵積(jī),m2
由式三可(kě)知維持的正壓值越(yuè)高,縫隙或孔口的(de)合計麵積(jī)越大,則泄漏風量也越多(duō)。過多的無效泄漏風量將增大受控環(huán)境的能耗,因(yīn)此應關注其氣密性,在維(wéi)持必要壓差條件下減低其泄漏(lòu)風量。值得注意的是,根據上述(shù)分析,在進(jìn)行潔淨室壓差檢(jiǎn)測之前,必須先驗證在(zài)潔淨室(shì)或潔淨設施(shī)正常工作時(shí),應該關閉的門全部關閉條件下的送風(fēng)量與回(huí)風量、排風量是否與規定風量相符。在此前提下,再逐一測定封閉的潔淨室(shì)和周圍附屬環境之間、周圍附屬環境與外部環境間的壓差。如無周圍的附屬環境,則測定(dìng)與記錄下封閉的潔淨室(shì)與外部環(huán)境之間(jiān)的壓差(chà)。
通常使用電子微壓計、傾斜式微壓計或機械式壓差(chà)計來測定區間的壓差。
按照 GB50073-2001《潔淨廠房驗收規範》的規定:不同等(děng)級潔(jié)淨室及潔淨區與非潔淨區之間的壓差應不小於5Pa,潔淨區與室(shì)外的壓差應不小於10Pa。
國內行業標準 JGJ71-90《潔淨室施工及驗收規範》除與GB 50073-2001的規(guī)定相同外,並對(duì)ISO 5級以上的單向流潔淨室有如下(xià)規定:潔淨度高於5級的單向流潔淨室在開門狀態下,在出入口的室內側(cè)0.6m處不應測(cè)出超過室內級別上限的濃(nóng)度。

 

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