
1、認證的目的和程序(xù)
潔淨(jìng)室工程在(zài)設計、建造和驗收投入使用後,為確保(bǎo)潔淨室使用過程(chéng)中(zhōng)始終能保(bǎo)持規定的空氣潔淨度等級和綜合性能參(cān)數要求,防止由於潔淨室投入使用後的維護管理(lǐ)不(bú)當或潔淨室工作人員誤操作以(yǐ)及潔淨空(kōng)調係統長期運轉使空氣過濾器(qì)性能變化,或者是潔淨室周圍環境的突發變化如因房屋拆遷(qiān)、潔淨(jìng)室內(nèi)生產工藝調整(zhěng)、突發性大氣塵汙染甚至沙塵暴的(de)侵襲等各類因索而影(yǐng)響潔淨室的性(xìng)能參(cān)數,所以投入運(yùn)行後潔淨室的(de)日常監(jiān)測和定期(qī)的綜合性能檢測是十分必要的工作,通過檢測以認證潔淨室的綜合性能是否符合設計要求或產品生產所需的綜合(hé)性能參數要求。
(1)潔淨(jìng)室的綜合性能檢測目的
通過對空氣潔淨度等級等方麵的監測、記錄,掌握以下內容:
1)確定正常運行(háng)。
2)掌握能量使用情況。
3)發現異常現象並維(wéi)修。
4)查(chá)明發生汙染的原因,測定相關(guān)數據。
5)產品質量相關的資料。
6)潔淨室的(de)缺點(運(yùn)行上的缺點等)。
(2)潔淨室的認證程(chéng)序
1)由業主委托專門檢測認證單位承(chéng)擔潔淨室(shì)的認(rèn)證工作。。委托可以是一次性的也(yě)可以是階段性的,如一年的委托合約,在在雙方的合約中應明確(què)委托認證的內容、測試要求(含時間間隔等)、檢測(cè)認證報告內容和要求、認證檢測的進度安排、各方的責任(包括保密要求等)。
2)認證檢測用儀器儀表必須在標定使用的有效期內(nèi)。
3)認證(zhèng)檢測之前,潔淨室的各功能係統應達到穩定運行,並由業主提供穩定運行的有關記錄。
4)按合約要求逐(zhú)項進行檢測,並作詳細記錄。記錄(lù)應該清晰,並有必要的實測狀況和有關(guān)問題的說明。
5)給出(chū)認證檢測報(bào)告,並(bìng)明確說(shuō)明潔淨室(shì)是否符合規定要求及各項綜合性能參數(shù)或計算結果。若檢測結果超過規定的(de)範(fàn)圍,說明該(gāi)潔淨室不合格,檢測認證單位應提供分析意見和改進的建議,由業主或業主委托有關單位進行改進、*,之後應進(jìn)行再認證(zhèng)。
2、認證內容及測試(shì)方法
(1)為了保證潔(jié)淨室或潔淨區運(yùn)行中始終符合要求,潔淨室(區)認證檢(jiǎn)測(cè)的基本內容包含空氣潔淨度等級、靜壓差和風速、風量的測定。《潔淨廠房(fáng)設計規範》規定:空氣(qì)潔淨度等級≤5級(jí),空氣潔淨度等級認證測試長時間間隔為6個(gè)月;空氣潔淨度(dù)等級>5級,空(kōng)氣潔(jié)淨度(dù)等級認證測試長時間間隔(gé)為12個月;靜壓差和風量(風速)認證測(cè)試長時間為12個月。
(2)潔淨室檢(jiǎn)測(cè)認(rèn)證洽商(shāng)選擇的測試內容。由於各行各業的產品生(shēng)產工藝或潔(jié)淨室(shì)的實際(jì)使用情況的不(bú)同,潔淨室(區)認證檢測時不是所有的檢(jiǎn)測項(xiàng)目都是必測的檢測內容,應按具體潔淨室的實際情況(kuàng),由業主與(yǔ)專門認證單位協商確定,潔(jié)淨室(區)洽商(shāng)選擇的測試要求如下:過濾器泄漏、氣流流型、自淨時間、汙(wū)染泄漏(lòu)、照度、微振的長檢測間隔時間為24個(gè)月;溫度、相對濕度、噪聲的長檢測間隔時間為12個月。
對於有微振要求的潔淨室(區),如(rú)集成電路生產用潔淨室,在潔淨室工程投產(chǎn)運行時應(yīng)進行微(wēi)振測試,在(zài)潔淨室使用過程中是否進行檢測、檢測時間間隔多長,應根據實際運行情況確定(dìng),但當潔淨室(區)內或周圍環境的振動狀況有變化時(shí),則應即時進行檢測。
3、認證報告及內容
若認證測試結果在規(guī)定值之內,說明該潔淨室符合規定要求,若測試結果超出規定值,說明該潔淨室不符(fú)合(hé)要求須進行改進,在改進(jìn)完(wán)成(chéng)後應進行(háng)再認證。
每(měi)次認證測(cè)試或再認證測試應做記錄,並提交綜合性能合格與不合格的綜(zōng)合報告(gào),報應包括以下內容:
(1)測試機構(gòu)的名稱、地址(zhǐ)。
(2)測試日期和(hé)測(cè)試者簽名。
(3)執行標準的名稱編號及出版日期。
(4)被測試的(de)潔淨室(shì)或潔淨區的地址、平麵及(jí)采樣點的特定編號及坐標圖。