潔淨室的驗收--靜壓差的測定

維持潔（jié）淨室的靜壓差在規定的範圍內，可以有效控製潔淨室的交叉汙染（rǎn）。通常所（suǒ）說的正壓潔淨室和（hé）負壓潔淨室，其實是反應它與相鄰（lín）空（kōng）間的壓力差（chà）ΔP，如果ΔP＞0，該潔淨室就是（shì）正壓潔淨室；若ΔP＜0，則為負壓潔淨室。所（suǒ）以，潔淨（jìng）室（shì）的靜壓沒有太大（dà）意義，我們要控（kòng）製的是潔淨室（shì）與相鄰（lín）潔淨室（shì）或室外的壓力差。
1、檢測要求（qiú）
（1）靜壓差（chà）的（de）檢測須在潔淨（jìng）區內的所有門全（quán）部關閉的情況下進行。
（2）測試順序應在潔淨室平麵上由潔淨（jìng）度高的潔淨室到潔淨度低的潔淨室（或走（zǒu）廊（láng））依次進行，一直檢（jiǎn）測到直通室外的房間。
（3）測管口應設在潔淨（jìng）室內沒有氣流影響的地方，測管口平麵應與氣流方向平行。
2、測量儀器
采用YJB-150補償（cháng）微壓計或微差壓力計（jì），儀器靈敏度由被測環境壓（yā）差控製精度而定，宜小於0.1Pa，規範要求靈敏度不應低於2.1Pa。
3、測（cè）試方法
（1）關閉所有的門。
（2）用微差壓力計，根據預先設計的測定順序測量各潔淨室之間，潔淨室與潔淨走廊之間，潔淨室與非潔淨室之間及非（fēi）潔淨室與室外的壓差。
（4）上述所測數值分別標注在已（yǐ）畫好的測試平麵圖（tú）上。
4、合格標準
按上述測試平麵圖所標注的壓差數據，分別與設計或（huò）工（gōng）藝要求的壓差值對比（bǐ）。若實測壓差大於或等（děng）於（yú）要求的（de）壓差值，則判定為合格；但實測（cè）壓差值不宜超出標準要求（qiú）的壓差太多，否則會產生噪聲且影響開關（guān）門，嚴（yán）重時還會在開（kāi）關門時影（yǐng）響氣流（liú）組（zǔ）織。