
由於潔淨室對排除室內汙染物的要求高,因此比(bǐ)一般空調房間的通風換氣量(liàng)要大很多。1~5級高級(jí)別潔淨室(shì)的(de)通風(fēng)換氣(qì)次數甚至高(gāo)達幾(jǐ)百次之多,是普通舒適性空調房間換(huàn)氣次數的幾十倍。正因為需要巨大的通風換氣量,從節省驅動(dòng)能耗及減少輸送氣流的沿程熱損耗的角度出發,就要盡可(kě)能拉近機房與潔淨室的(de)距離。這也正是廣泛采用裝置在潔淨室內的風機過濾器機組的原因之一。由於機械設備運轉造成的機械振動與噪聲、空調淨化係(xì)統(tǒng)較(jiào)高的(de)靜壓值及係(xì)統中氣流引起的噪聲與微振等,都比一般空調(diào)係統更(gèng)為突出,因此潔淨室(shì)的噪聲與微振成為了其性能的關注目標之一。潔淨室內一般的生產操作和設備都十分精細,過高(gāo)的噪聲與微振將影(yǐng)響工(gōng)作效率、產品成品率。同樣,多數潔淨室対照(zhào)度也有較高要求,這也與其(qí)產品與工(gōng)藝的細微有關。
1、相關(guān)的標準與規(guī)定
潔淨室(shì)的噪聲、微振與照度,相關規範ISO 14644均未作具體(tǐ)要求,而是建議由用戶與供應商、承包(bāo)商依照其它相關標準,采用協商(shāng)一致的辦法(fǎ)在合同中規(guī)定。工程竣(jun4)工時依合同的規定進行檢驗(yàn)。國家標準GB 50073-2001對噪聲的限製值規定如下:
(1)潔淨室內的噪聲聲級(空態),非(fēi)單向流潔淨室不應大於60dB(A),單向流、混合流潔淨室不(bú)應(yīng)大於65dB(A)。各頻帶聲壓(yā)級不宜大於下表規定:
(2)潔淨室的容許振動值,應由所設置精密(mì)設備、精密儀器或儀表的(de)設備製造廠商和生產(chǎn)工藝部(bù)門提供(gòng)。當用戶和(hé)相關部門不能提供容許振動值時(shí),國家標準GB 50073-2001建議,可參照(zhào)GBJ22《隔振設計規範》執行。具體指標在(zài)檢測工作開展之前,仍需與用戶及(jí)供應商、承包(bāo)商協商確(què)定。
國家標準GB 50073-2001對潔淨室的照度有下表規(guī)定:
2、噪聲、微振(zhèn)與照度的檢測
(1)噪聲測試
按照(zhào)國內行業標準JGJ 71-90《潔淨室施工及驗收規範(fàn)》的規定,潔淨室麵積在15m2以下時,可在室中心位置測量房間噪(zào)聲,大於15m2時,一般按5個測點(diǎn)采樣,除房間兩對角線相交的室(shì)中心位置外,另在房間四角對角線上對稱的(de)選取4點,測點高度一般距地麵1.1m。通(tōng)常采(cǎi)用帶倍頻程分析儀(yí)的(de)聲級儀在規定位置測定噪聲,一般僅測A聲級的數值,必要(yào)時測倍頻程聲壓級。
對於(yú)噪聲有更嚴(yán)格要求的場所需要測定噪聲標準曲線NC或房間標準曲線RC,可參考NEBB所編寫的《潔淨(jìng)室評價測試的學習課程》。
(2)微振測試
國內標準建議測點選在室(shì)中心地麵和認為有必要測試振(zhèn)動的位置(zhì)和地麵上,以及壁板裝配式潔淨室的各獨立壁(bì)板表麵的(de)中心處。
應分(fèn)別測出室內全(quán)部空調淨化設備,處於正常運轉和停止運轉兩種(zhǒng)情況下,X、Y、Z,即(jí)縱向、橫向和垂直軸3個方向上的振幅值,並應特別注(zhù)意測定同轉動設備的轉速相對應頻(pín)率下的振幅。
選用振動分析(xī)計測定微振(zhèn)時,要注意其檢(jiǎn)測精度是否滿足測試要求(qiú)。
(3)照(zhào)度測試
室內照明必須在室溫已(yǐ)趨穩定,光源光輸(shū)出趨於正常的條件(jiàn)下進行。一般要求新裝日(rì)光燈已有100h,新裝白熾燈已(yǐ)有10h使(shǐ)用期;舊日光燈必須已點燃15min,舊白熾燈已點燃5min後進行測試。
通常規定潔淨室(shì)照度隻測除特(tè)殊照明之外的一般照明(míng)。國內標準規定,測(cè)點平麵離地麵0.8m,按1~2m間距布置,測(cè)點宜離地麵(miàn)0.5~1.0m。
NEBB要求將房間(jiān)劃分為(wéi)0.6m見方的(de)小麵積,在離地麵760mm的中心位(wèi)置測照(zhào)度,關於照度平均值的獲得還有一係列規定(dìng)與方法(fǎ),詳見NEBB《潔淨室評價測試的學習課程》。