潔淨（jìng）室靜電測試

潔淨室內往往存在著不容（róng）忽視（shì）的靜（jìng）電危害，是（shì）導致電子器件、電子儀器和設備損壞或性能下降的重要因（yīn）素（sù）之一，對芯片製（zhì）造影響尤為重（chóng）要。此（cǐ）外，靜電（diàn）還是潔淨室在生產過程中有易燃易爆氣體或粉塵產生時，導致爆炸、火災的元凶（xiōng）以及存在電擊傷人的隱患。潔（jié）淨室靜電對塵埃的吸附效應，也（yě）易造成生產環（huán）境和產品各個壁麵的（de）塵埃聚集，以致影響潔淨室的環境和產品被（bèi）汙染。
1、相關的規範規定
潔淨（jìng）室相關規範（fàn）對靜（jìng）電防護問題，從設計到運行都有具（jù）體的規定。例（lì）如，潔淨室設施應選用既不會產生也不能蓄積大量靜電的建築材料。為（wéi）保護對靜電敏感的設備、器件、地麵（miàn），電阻應該在（zài）104～107Ω範圍內，表麵聚集（jí）電荷的限定值應小於（yú）2kV等等。
國家標準GB 50073-2001《潔淨廠房（fáng）設計規（guī）範》規定：潔淨室地麵層應具有導電性能並保持長（zhǎng）時間穩定。潔淨室地麵表層應采用靜（jìng）電耗散性材料（liào），其表麵電阻應為（wéi）1.0*105～1.0*1012Ω或體積電阻率（lǜ）為1.0*104～1.0*1011Ω.cm。潔淨室地麵應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻應為1.0*105～1.0*109Ω等（děng）等。
2、靜電（diàn）測試（shì）方法（fǎ）
靜電測試通常包括兩部分內容（róng），一是靜電（diàn）測試本身（shēn），其目的是掌握產品表麵上的靜電電荷和地麵、工作台（tái）麵或（huò）其它設施的靜電電壓的耗散率（lǜ）；二是離（lí）子生（shēng）成（chéng）器（qì）測試，其目的是通過監測器測量初始充電的放電時間和通過測定隔開來的監測板的補償電壓來評（píng）估（gū）其性能。上述兩部分測量（liàng）結（jié）果都（dōu）能反映清除或中和靜電荷的（de）效率和產生的正負離子量間的不穩定（dìng）性（xìng）。
（1）表麵電壓水平的測量（liàng）
通常采（cǎi）用靜電電壓計或場強計測定設備（bèi）和產品表麵的（de）正負（fù）靜電荷（hé），具體方法是把靜電電壓計或場強計的輸出（chū）調節為0，按儀器說明書規定，讓探測（cè）器麵朝接地的金屬板（bǎn），探測頭保持使測孔平行於所規定的某個距離處放置的板，記錄下靜電電壓計的讀值（zhí）。
（2）靜電耗散性的測量
通過測量表麵上不（bú）同位置之間的電阻—表麵電阻和表麵和地麵之（zhī）間（jiān）的電阻—漏電電阻，來評定靜電耗（hào）散特性。一（yī）般采用（yòng）高電阻計來測量。
（3）離子生成器（qì）測試（shì）
本項測試的目的是用以評估雙級離子（zǐ）生成器（qì）的（de）性（xìng）能，測試內容為測試放電時間和補償電壓（yā），放電時間將用（yòng）以計算離子生成器消（xiāo）除電荷的效率，補償電壓將用以評估在離子生成（chéng）器生成的離子（zǐ）化氣（qì）體中，正負離子的不穩定性（xìng）。離子的不穩定性會造成不利的殘餘電壓。
測量工作由稱之為“充（chōng）電板監測器（qì）”的（de）設備完成，該設（shè）備（bèi）由導電監測板、靜電（diàn）電壓計、計時器和電（diàn）源等構成。
（4）放電時間的（de）測量
采用已（yǐ）知電容，例如20pF的絕緣導電（diàn）板作為監測板。開始時用電源給監（jiān）測板充電（diàn）並達（dá）到已知的正（zhèng）或負電壓，隨後（hòu）將監（jiān）測（cè）板暴露在（zài）被評估的雙級離（lí）子生成器所離子化的氣體中，用靜電電壓計測量充到板上的靜電荷，同時以計時器配合測量板上電壓隨時間的變化。
放電時間的定義是：監測板上的靜電荷減少到（dào）100%初始電壓所需（xū）的時間。由用戶和供應商協商（shāng）確定作為驗收標準的測試點（diǎn）的位置和測定結果。
（5）補償（cháng）電壓的測量
采用（yòng）類似的監（jiān）測板裝在絕緣器上，用靜電（diàn）電壓（yā）計監測絕緣板上的電荷，以測量補償電壓。開始時，將監測板（bǎn）接地，去除殘（cán）餘電壓，確認板上的電壓為0，隨後把板暴露在離子化的氣體中，直到電壓計的（de）讀數穩定，該值即為所測的補（bǔ）償電壓。離子生成器（qì）的允許補（bǔ）償（cháng）電壓，決定（dìng）於工作區的物體對靜電荷的（de）敏感性，所以允許的補償電壓應由用戶與供（gòng）應商協商確定。
（6）測試報告
1）儀（yí）器（qì）使用者或數據采集設備的名（míng）稱；
2）測試（shì）儀器的名稱及其校準狀態；
3）測（cè）試和測量類型及其測量條件；
4）溫度、濕（shī）度和環（huán）境數據（jù）；
5）測點位置；
6）潔淨室檢測時所處的狀態（tài）。