
為確保生(shēng)產環境對生(shēng)產工藝的汙染處於控製之中,就需要對環境設定限製。對空氣環境而言,通過(guò)測定空氣懸浮顆粒物或微生物的生成(chéng)單位(wèi)來作出判斷。而且ISO 14644和其(qí)它相關標準對於采樣方法和(hé)限(xiàn)製都有具體的規(guī)定。控製的方法主要是淨(jìng)化通風,但對於人員與產(chǎn)品因直接接觸而造成的危害,其控製措施主要是戴手(shǒu)套、指套,以及要求生產(chǎn)人員采用盡可能避免直接(jiē)接觸的正(zhèng)確操作方法。而監測(cè)工作包括檢查所用手套的破損情況、測量手套表麵的粒子或微生物等。
潔淨室(shì)內(nèi)的汙染源(yuán)、傳播途徑、控製與監測(cè)方法見(jiàn)下表:
監測采樣必須采用(yòng)正確(què)、可靠的方法。為保證監測采樣的結果可(kě)靠(kào),以下問(wèn)題必須引起重視。
1、采樣儀器的采樣效率
例如根據潔淨室監測的微粒粒徑,盡可能選用合適的離散粒子計數(shù)器,避免(miǎn)使用其粒徑閾值作為監測粒徑,一般來說(shuō)離散粒子計數器的粒徑閾值檔的效率往往偏低。
2、儀器校準
仍以離(lí)散粒子計數器為例,其激光光源的光強、其它(tā)如光電轉換電子器件的效能,都會(huì)隨時間有所變化,定期校準與標定是保證其測值可信的重要條件。
3、製定報警值和行動值
有些監測係統是連續工作(zuò)的,如高潔淨(jìng)度潔淨室設有持續(xù)的顆粒物計數監控裝置,而另一些相(xiàng)對不十分重要的汙(wū)染源,如頂棚等(děng),可能隻有(yǒu)定期的清潔製度,並不對(duì)其(qí)進行監測。對潔淨室內的各種危害及相應的控製方法都要確定監測的製度,其中就包括監測的頻率。危害程度越高,采樣應(yīng)越頻繁。
當監測結果(guǒ)表明汙染危害未受(shòu)到控製時,必須事前先確定應采取怎樣的糾正措施,設定報(bào)警(jǐng)條件和行(háng)動條(tiáo)件就是一種常用的方法。報警值設定為某個(gè)高於預期值的汙染濃度(dù),但該值仍(réng)在(zài)控製範圍內。一般超過報警值並不采取行動,因為這(zhè)僅是(shì)對將來出現問(wèn)題的一個警(jǐng)示。如果在相對較短的時間內(nèi)多次出現報(bào)警,則可能預示著需要采取行動。
而行動值應設置為一旦超過就必須進(jìn)行檢查、分(fèn)析,確認這種狀況是否可以接受。如果不能,要(yào)采(cǎi)取什麽措施才可以控製局麵(miàn)。