潔淨室中常被采用的空氣循環係統

（1）單獨空調器係統
循環空氣通過空調器進行溫（wēn）、濕度處理後以風管直（zhí）接分送至各HEPA過濾器，但不宜用於（yú）過濾器（qì）多的係統，空調器的風量一般（bān）不會太（tài）大。另一種方式是用總風管至（zhì）靜壓箱，如有靜壓箱，宜用於過濾器多的係統（tǒng），靜壓箱要求密封性好，以免汙染物通（tōng）過過濾器與靜壓箱的安裝接縫處以有不嚴密處漏入至潔淨室，這一點（diǎn）對要求嚴的潔（jié）淨室（shì）是十分重要的（de），常設在靜（jìng）壓箱上一層屋頂層內，以減少送風管長（zhǎng）度。一般每台空調器的風（fēng）量30000-45000m3/h間，以控製噪（zào）聲過大，風壓（yā）（氣壓（yā））一般控製在650-700Pa以內。
（2）軸流風機豎井式布置，有壓靜壓箱
這種空氣循環係統主要用於大的（de）IC工廠的潔淨室，由於其風量大，過濾器多，每台軸流（liú）風機（jī）的（de）風壓常控製在400Pa左右，以適應軸流風機低風壓、大流（liú）量下的（de）運行效率佳並控（kòng）製其噪音。此係（xì）統的特點是綜（zōng）合投資及運行費用較（jiào）高，維護管理（lǐ）方（fāng）便，但靈活性較有效期，另外有壓靜箱的（de）缺點同上。
（3）FFU係統
FFU是近幾年發（fā）展起來的，在使用壽命（mìng）及維護上已經實踐證明無可擔心。其特點（diǎn）是靈活性大，便於改造，擴展；占用建（jiàn）築物空間較少；無壓回風（fēng）靜壓（yā）室，潔淨室（shì）內風壓大於它的，排除靜壓室對潔（jié）淨室漏入汙染物。由於運（yùn）行時的靜壓一般皆在250Pa左右，因此要求係統總阻力（過濾器為初阻力（lì））控製在165Pa左右，即整個回風阻（zǔ）力（包括風道、各種局部阻力等）控製在65Pa左右，過濾器初阻力控製在約100Pa，融就需再增設加壓風機係統，這就降低了（le）FFU係統的綜合優點。
FFU單機風（fēng）量一般在1000-2000m3/h，由（yóu）於小風機所用小容量（功率<1/2Hp）的交流電機，一般皆為（wéi）電容（róng）分相式（shì）或隱極（jí）式，其效率僅40%左右，因此運行能效低，現多采用電子正流電機（無（wú）刷直流電機）其效率可達75-80%。解決了以往運行能效低的問題，在調整控製上（shàng），可每台單獨或成組以過濾（lǜ）器壓降進（jìn）行控製以進一步達（dá）到節（jiē）能。FFU係統（tǒng），可用於各行業的潔淨室，隻要回風係統阻（zǔ）力及過濾器阻（zǔ）力能合適控（kòng）製，對小係統往往（wǎng）是可取的；對過濾器滿布率較低（如25%）左右的大麵積潔（jié）淨室亦采用較多；對過濾器滿布率較高時一般往（wǎng）往是不經濟的，滿布率高，意味著風量很大，如控製係統阻（zǔ）力，回風道（dào）要很大（dà），往（wǎng）往在綜合經（jīng）濟上不可取，亦較難實現。