
我國的空氣潔淨技術(shù)起始於20世紀50年代中期,至今大(dà)致經曆了四四個發展階(jiē)段(duàn):
(1)從20世紀50年代中期到60年代中期,主要(yào)借鑒前蘇聯的技術,服務於國防、航天、原子能工業與科研。與現代潔淨技術相比,在廠房、設備、氣流組(zǔ)織(zhī)等(děng)各方麵還都比較原始和粗糙,屬於起步階段。
(2)從(cóng)20世紀60年代中期到70年(nián)代後期,由於國內外的種種原因(yīn),主要靠自力更生發展。當時參照了美國和日本的標準(zhǔn)和技術,逐步研製成過濾器和納焰法試(shì)驗台、潔淨工作(zuò)台、粒子計數器、裝配式潔淨室(shì)及其他潔淨室附屬設備(風淋室、傳遞窗、餘壓閥等),編製了“空氣潔淨技術措(cuò)施”,奠定了我國(guó)潔淨技術的基礎。
(3)從20世紀70年代末到80年代末,由於實行了改(gǎi)革開放的國策(cè),發達國(guó)家的技術與設備開(kāi)始進入我國市場,現代潔淨技術在(zài)我國的大規模集成電路、光導纖(xiān)維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業潔淨領域得到迅速發展(zhǎn),裝備0.1um過(guò)濾器的10級潔淨室(shì)和(hé)無隔板過濾器研(yán)製成功。同時在醫療、製藥、生物、化妝品與食品行(háng)業(yè)生物潔(jié)淨(jìng)室也得到(dào)應用,一(yī)些製藥廠對原有空調係統的改造中開始采用生物潔淨(jìng)技(jì)術,簡易的水平“單向流”潔淨室和裝配式無菌病房用於醫院,生物安全工作台和細菌采樣(yàng)儀研製成功。1982年我國醫藥行(háng)業GMP公(gōng)布,1983年中國電子學(xué)會潔淨技術分會成立,1985年GBJ73-1984《潔淨廠(chǎng)房設計規範》頒布,我國的潔淨技術(shù)進入穩步發展階段。
(4)20世紀80年代末至今,在大規模集成(chéng)電路領域全麵引進(jìn)境外資金(jīn)、技術與設(shè)備(bèi),形成一批的品牌企業,潔淨室(shì)的規模越來越大(dà),風機過濾機組(FFU)和微環(huán)境技術得到應用和推廣。在醫療和製藥領域潔淨技術趨向成(chéng)熟與規範,生物安全技術發展迅速。包括微環境、密褶型無隔板過(guò)濾器、微計算機控製過濾器性(xìng)能測試台等潔淨技術相關的技術設備(bèi)基本(běn)可以(yǐ)實現國產,同時還開始(shǐ)了0.1um光刻機及相關環境的研製。