潔淨室汙染控製（zhì）有哪些方法？

1、潔淨室送風的過濾
潔淨室空調送風係統的末端裝置—高效（xiào）空氣過濾器（HEPA）或超高效空氣過濾器（ULPA），在正常情況下（xià）能有效過（guò）濾經空調機（jī）組（zǔ）處理的新風和回風中（zhōng）的顆粒汙染物。經高效、超高效空氣（qì）過（guò）濾器處理後的潔淨（jìng）空氣送入室內，可有效排替（tì）、衝（chōng）淡室內汙染物，以維持室內的潔淨度。但末級過濾器如有破損（sǔn）或過濾器與支撐框架間的密封出現裂隙，氣密性失效，那（nà）麽未經高效空氣過濾器過濾（lǜ）的空氣（qì）就可能攜帶大量汙染粒子進（jìn）入室內並（bìng）隨氣流擴散（sàn），危害（hài）影響範圍較大。因此潔淨室投入使用前的末（mò）級過濾器檢漏、堵漏（lòu）或更換工作十分重要。運行過程中防範末級過濾器受損，也十（shí）分重要。高效空氣過（guò）濾器達到使用壽命後及時更換（huàn）也（yě）同樣予（yǔ）以關注。
2、不同級別相鄰潔淨室間的壓差
防止從相鄰的潔淨度較低區域向潔淨（jìng）室傳播汙染的主要方（fāng）法是：維持高潔淨度區域相對於低潔淨度區域、低潔淨（jìng）度區域相對於服務區域、服務區域相對於室外，有一個合適的（de）正壓值。根據不同的情況（kuàng），不同級別相（xiàng）鄰房間的正壓值約（yuē）為（wéi）5～10Pa。讓不同潔淨度的各級房間維持梯次的壓差，目的是當房間門處於關閉情況時，通過縫隙的（de）氣流流（liú）向是由高級別潔淨室流向低級別潔淨室、由低級別潔（jié）淨室流向走廊和服務區，再流向室外，這樣（yàng）就可（kě）減少（shǎo）由室外向服務區域、服務區域向低級別潔淨室、低（dī）級別潔（jié）淨室（shì）向高級別潔淨室傳播空氣中的懸浮汙染（rǎn）物。
正壓差值並非越大越好，研究和實踐證明，人（rén）員物料通過門時（shí），即使門兩（liǎng）側關門壓（yā）差高達50～60Pa，仍（réng）難避免隨人員、物料向內移動時的攜帶氣流將汙染帶入（rù）室內。特別是當（dāng）門兩側存在溫度差別時，門敞開後，即使無人走動，在開口斷麵（miàn）部分麵積上也（yě）存在逆向氣流，帶入空氣（qì）的懸浮汙染物。此外，過高的（de）正壓差還會造成潔淨室的門既難開啟又（yòu）難關嚴，門縫氣流造成（chéng）哨聲噪（zào）聲，以及因氣流外溢過量而補風量增加，浪費能源和加重各級過濾（lǜ）器（qì）負擔。
潔淨室合理的氣流組織方案是減弱開門時汙染物侵入的輔助手段之一。通常在靠（kào）近低級別潔淨室一側的門口設置一些回風口（kǒu），以形成部分潔淨室氣流向門一側運動的（de）趨勢，與潔淨室在（zài）關門狀態下的正壓外溢氣流匯成（chéng）一股向門內側運動的氣流（liú）流型。一旦門開敞後，侵入的汙染物（wù）向潔（jié）淨室進深擴散的（de）範圍將會（huì）明顯縮小。了解開門時汙染侵入的（de）風險，使一些（xiē）潔淨室的關鍵工序或汙染敏感工藝與門保持合（hé）理的距離，也是必要措施之一。
此外，設置帶（dài）有不能同時開啟的（de）兩道門的（de）緩衝間或氣閘室，也是減少開門時（shí）傳入（rù）空氣中懸浮汙（wū）染物的手段之（zhī）一。一（yī）些常規程序，如（rú）進（jìn）入潔淨室穿鞋套，使（shǐ）用地麵粘墊（diàn）等也是減少帶入外部汙染的必要手段。
3、合（hé）理的氣流組織
潔淨室的送、回風係統，既是清除空氣中懸（xuán）浮汙染物的重要手段，但也可能成為傳播汙染（rǎn）的途徑。因此，合理（lǐ）的氣流組織對於潔（jié）淨室十分（fèn）重要。
除上麵提到的在與較低級別潔淨室相鄰的門內兩側設置回風口，以縮（suō）減開門時室外空氣中汙染物侵入的範圍的方法外，還有許多可以改（gǎi）善潔淨室通風（fēng）效果（guǒ）的措施。
例如，對那些對空氣中（zhōng）懸浮（fú）汙染物敏感的工序或工藝，在非單向流潔淨（jìng）室中盡可能在（zài）其（qí）上（shàng）方設置送風口，使其處於潔淨空氣的籠罩下和處（chù）在潔淨（jìng）氣流的上風向。而在那些可能產生汙染的工藝附（fù）近設置回風口，使它們處於下風向，以減少汙染物在潔淨室的擴散。產生汙染物較為嚴重的工序，如半（bàn）導體工業中（zhōng）單晶矽的切片、磨片，製藥行業中的粉碎工藝、壓片、糖衣成（chéng）型工序等（děng），則宜於在工（gōng）藝（yì）上采取隔（gé）離、屏蔽措施並適當的排風，將所產生的懸浮汙染物（wù）直接排除室外，減（jiǎn）少它們向室內空氣的擴（kuò）散量（liàng）。
又（yòu）例如，對那些關（guān）鍵工（gōng）序，如在凍幹車間收（shōu）粉室（shì）的凍幹機（jī）開口處、大輸液的灌封部位、生物潔淨室手術室的手術區等，采用垂直或水平單向流氣流流型，用潔淨（jìng）空氣籠罩與隔絕周邊環境的汙染，都是合（hé）理利用氣（qì）流組織的案（àn）例。
4、圍護結構等表（biǎo）麵的維護與（yǔ）清潔
首先是（shì）潔淨室的牆麵、地麵、頂棚等圍護結構，在設計、施工中要選用表麵光潔、質地堅實、不產塵、少積塵、耐清（qīng）洗等符（fú）合質量要求的材（cái）料。要求在被頻繁擦拭、洗（xǐ）滌等清潔（jié）、消毒的條件下，表麵不（bú）變粗糙（cāo）或多孔（kǒng），否（fǒu）則會存留微粒和化學汙染物，或容易導（dǎo）致微生（shēng）物汙染。
在設計、施工中（zhōng）應保證（zhèng）潔淨室內的牆麵、地麵、頂棚、門、空（kōng）氣擴散板和（hé）地漏（lòu）等都是易於進行（háng）表麵清潔（jié）的。而且還應把牆麵、地麵、頂棚等（děng）的接縫處的細節考慮在內，特別（bié）要避免出現有可能積留水分的地方或表麵。
傳送（sòng）設備的表麵易於清潔也十分重要。物料、零部件等的傳送帶往往是難於清潔（jié）的部位，在工藝設計時必須予以關注。
在輪車（chē）、推車和（hé）攜帶（dài）材料的人（rén）員頻繁通行、極易碰到牆和門等的外露表麵處，應有耐（nài）磨損（sǔn）、耐衝撞的防磨條或（huò）防護杠，以保護易受損的材料，如醫院手術室潔淨走廊的防撞帶就是應用的實（shí）例。
在設計和（hé）施工等方麵符合要求的基礎上，嚴格的清潔製度是保證盡可能減少（shǎo）圍護結構散發汙染的重要方麵。
5、控製人員散（sàn）發（fā）的汙（wū）染
人員的鼻腔、口腔、皮（pí）膚、頭發和身上的服裝都是散發汙染物。根據試驗，人員身著一般工作（zuò）服行走時，每分鍾散發的≥0.5um的顆粒數可高達2.9*10⁶pcs/人.min，穿普通手術服，做踏步動作時，散發的（de）微生物可達約（yuē）2400CFU/人.min。
控製人員散發的汙（wū）染，首先是控製進入潔淨（jìng）室的人員數量。與生產、科研無直接（jiē）關（guān）係、未經潔（jié）淨（jìng）室工作人員守則培訓的人員，一（yī）律不（bú）得進入潔（jié）淨室。進入的人員要遵循潔淨室工作守則，整齊（qí）穿著潔淨室工作服，戴工作手套（tào）、頭罩、穿靴子，經潔（jié）淨通道進入。
除盡可能降低人員散發（fā）的汙染物外，空調淨化送風（fēng）的氣（qì）流也是（shì）有效稀釋、疏導並排出人員散發的汙染物的重要手段。例如人員行走的通道是散發汙染物的主要位置，在該處設（shè）置回、排風口，使其處於室（shì）內下風向，以盡量減少人員所散發的汙染物擴（kuò）散到潔淨車間的其它區域。又如關鍵工序部位設置在潔淨室中非（fēi）操作人員不（bú）易到達之處，以減少額外的人員汙染。
6、控製工藝（yì）設備（bèi）及工藝的（de）產塵（chén）
潔淨室內的工藝設備應選料精（jīng）良，光潔耐磨，轉動、滑動部位格外重要（yào），要盡可能減少磨損及（jí）產塵。對於那些產塵的工藝過程要盡可能的將其封閉或（huò）設置（zhì）圍擋，並輔以排風，形成局部範（fàn）圍相對（duì）於潔淨室的負壓，以限（xiàn）製汙染物向潔淨室（shì）其它區域擴散（sàn）。
對室內的機器設備定（dìng）期進行清潔、擦拭是必要的製度，也是減少積塵二次飛揚的有（yǒu）效措施。
7、進入潔淨室的材料與部件的清潔
潔（jié）淨室的產品和產（chǎn）品的（de）原材料、產品的容器和包（bāo）裝材料都要使用不產生汙（wū）染的材（cái）料。這些材料的生產製造也（yě）應在對產品汙染相對較小的環境中進行。例如，大輸液塑料瓶的注塑車（chē）間等，宜（yí）維持一定的潔淨級別，以減少大輸（shū）液灌封工序環境的汙染負荷。